利索能及
我要发布
收藏
专利号: 2024118713420
申请人: 佛山市奕辉煌新材料有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2025-10-27
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种硅片新材料切割加工装置,包括基座(100)、安装架(110)和加工台(120),其特征在于:所述安装架(110)上安装有切割机构(200),所述加工台(120)的顶部设有推送机构(300),所述推送机构(300)至少包括若干个导杆(330),若干个所述导杆(330)上滑动连接有夹持机构(400),所述夹持机构(400)包括若干个固定件,位于同一水平线上的两个固定件之间均设有第二弹簧(500);

其中,所述夹持机构(400)用于将待切割硅片上下两面固定,位于同一高度平面上的两个所述固定件之间设有切割通道,所述推送机构(300)用于推动上下两面被夹持机构(400)固定的硅片向切割机构(200)靠近,在所述推送机构(300)推动硅片靠近切割机构(200)的过程中,待切割硅片两侧的所述固定件沿着切割线自动向硅片靠近,两个相互靠近的所述固定件用于将硅片的切割线两侧夹紧,所述夹持机构(400)能够减小硅片内部产生的应力,所述切割机构(200)用于将上下和切割线两侧均被固定的硅片切割成固定的长度;

所述固定件包括滑动连接于同一条垂直线上的两个限位板(410),两个所述限位板(410)之间固定连接有若干个限位杆(420),若干个所述限位杆(420)上滑动连接有一对垂直分布的夹臂(430),每个所述夹臂(430)与相邻的限位板(410)之间均设有若干个第一弹簧(440),每个第一弹簧(440)均套设于限位杆(420)的外围,滑动连接于同一个所述导杆(330)上的两个限位板(410)之间滑动连接有调节杆;

每个所述第二弹簧(500)均套设于导杆(330)外围,所述第二弹簧(500)位于同一水平线上相邻的两个限位板(410)之间,所述第二弹簧(500)的两端分别与两个限位板(410)固定连接;

靠近驱动板(350)的限位板(410)的摩擦系数大于远离驱动板(350)的限位板(410)的摩擦系数,驱动板(350)与导杆(330)之间的摩擦力大于硅片与夹臂(430)之间的摩擦力;

所述推送机构(300)还包括固定连接于加工台(120)顶部的第一支架(310)和第二支架(320),所述第一支架(310)和第二支架(320)的四角均与一个导杆(330)滑动连接,所述第一支架(310)上设有若干个液压杆(340),每个所述液压杆(340)的固定部均与第一支架(310)固定连接,所述第一支架(310)和第二支架(320)之间设有驱动板(350),所述驱动板(350)与每个导杆(330)均滑动连接,所述驱动板(350)与每个液压杆(340)的活动部均固定连接。

2.根据权利要求1所述的硅片新材料切割加工装置,其特征在于:所述切割机构(200)包括转动连接于安装架(110)同侧的转盘(210),两个所述转盘(210)的外围套设有线锯(220),所述转盘(210)通过电机(230)驱动,所述电机(230)位于安装架(110)远离转盘(210)的一侧,其中一个所述转盘(210)与电机(230)的输出轴同轴连接。

3.根据权利要求2所述的硅片新材料切割加工装置,其特征在于:所述加工台(120)顶部开设有切割槽,所述线锯(220)穿过切割槽,所述线锯(220)在穿过线锯(220)的方向为垂直于加工台(120)向上。