1.一种芯片自动化检测方法,包括:记由芯片所形成的长方体为芯片长方体;
在芯片长方体中:
记芯片长方体的任意一个面为第一侧面;
记垂直于第一侧面的任意一个面为第二侧面;
记垂直于第一侧面且垂直于第二侧面的任意一个面为第三侧面;
记需要进行检测的芯片为待检测芯片;
用x光照射待检测芯片的第一侧面,得到检测样图;
获取待检测芯片的焊盘在检测样图上的矩形区域,记为执行矩形;
记芯片内部的气泡在x光照射下所形成的图形为投影图形;
对投影图形执行圆域规划策略,得到投影图形所在的圆,记为执行圆;
所述对投影图形执行圆域规划策略,包括:设定用于分割投影图形的分割直线;
设定用于确定执行圆的分割距离;
设定等距线,由多条分割直线组成,且每条直线之间的距离为分割距离;
将投影图形映射到等距线上;
将等距线与投影图形相交后在投影图形内形成的线段记为分割线段;
获取执行矩形中所有的投影图形对应的执行圆,组成执行圆集;
第一侧面和第二侧面的连接线段记为第一棱边;
设定用于划分第一棱边的划分间隔;
执行预划分策略,得到多个执行单元;
针对任意一个执行单元;
获取执行单元中执行圆的数量,记为第一侧面数量;
过执行单元的直线作垂直于第二侧面且平行于第三侧面的平面,平面截取芯片长方体的横截面记为执行截面;
当第一侧面数量>0,执行立体检测策略,得到执行截面上执行圆的体积;
设定判定芯片是否合格的阈值比例;
根据阈值比例,执行合格判定策略,判断芯片是否合格;
所述执行预划分策略,得到多个执行单元,包括:获取第一棱边的两个端点,分别记为第一端点和第二端点;
将距离第一端点1个划分间隔的点记为第一执行点;
将距离第一端点2个划分间隔的点记为第二执行点;
以此类推;
距离第一端点m个划分间隔的点为第m执行点,其中,第m执行点为第二端点;
在第一侧面分别过每个执行点作垂直于第一棱边的直线;
将直线和所有圆心在直线上的执行圆共同记为一个执行单元;
所述执行立体检测策略,包括:记执行单元中的执行圆分别为第一执行圆、第二执行圆、以此类推第n执行圆;
获取执行单元中直线与第一棱边的交点,在第二侧面过交点作垂直于第一棱边的直线,记为对照直线;
用x光照射第二侧面,获取圆心在对照直线上的执行圆,组成对照执行圆集;
计算对照执行圆集中元素的数量,记为第二侧面数量;
第一侧面和第三侧面的连接线段记为第二棱边;
在第一侧面分别过第一执行圆、第二执行圆、以此类推第n执行圆的圆心作垂直于第二棱边的直线,分别交第二棱边于第一验证点、第二验证点、以此类推第n验证点;
在第三侧面分别过每个验证点作垂直于第二棱边的直线,得到第一验证直线、第二验证直线、以此类推第n验证直线;
用x光照射第三侧面:
获取圆心在第一验证直线上的执行圆的数量,记为第一验证数量;
获取圆心在第二验证直线上的执行圆的数量,记为第二验证数量;
以此类推;
获取圆心在第n验证直线上的执行圆的数量,记为第n验证数量;
获取所有的验证数量,组成验证数量集;
所述执行立体检测策略,包括:遍历验证数量集中的所有元素,和第二侧面数量作比较;
获取小于第二侧面数量的元素,分别记为第一标记数量、第二标记数量、以此类推第v标记数量,其中,v≦n;
获取对照执行圆集中每个执行圆的半径,计算所有半径的均值,结果记为半径均值r;
计算(n‑v)*第二侧面数量+第一标记数量+第二标记数量+……+第v标记数量=执行截面上执行圆的数量,记为u;
计算执行截面上所有执行圆的体积k,k= ;
所述执行合格判定策略,包括:获取所有执行单元对应的执行截面上所有执行圆的体积,计算体积的和,结果记为气泡体积x;
获取芯片长方体的体积y;
计算x/y,结果记为气泡孔隙率;
当气泡孔隙率大于等于阈值比例时,芯片不合格;
当气泡孔隙率小于阈值比例时,芯片合格。
2.根据权利要求1所述的芯片自动化检测方法,其特征在于:所述对投影图形执行圆域规划策略,还包括:针对任意一个分割线段:
分割线段将投影图形分为两个图形,分别记为第一图形和第二图形;
设定微分数值;
将分割线段等长度划分为微分数值个线段,记划分得到的线段为底边线段;
针对任意一条底边线段:
过底边线段的中点做垂直于底边线段的直线,记为微分直线;
将微分直线与第一图形相交的点记为第一标记点;
将微分直线与第二图形相交的点记为第二标记点;
测量第一标记点距离底边线段的距离,记为第一微分高度;
测量第二标记点距离底边线段的距离,记为第二微分高度;
计算第一图形的面积:
获取每条底边线段的第一微分高度,分别记为第一左微分高度、第二左微分高度、以此类推第e左微分高度;
获取底边线段的长度,记为底边长度;
执行下列公式:
第一左微分高度*底边长度+第二左微分高度*底边长度+……+第e左微分高度*底边长度=第一图形的面积。
3.根据权利要求2所述的芯片自动化检测方法,其特征在于:所述对投影图形执行圆域规划策略,还包括:计算第二图形的面积:
获取每条底边线段的第二微分高度,分别记为第一右微分高度、第二右微分高度、以此类推第e右微分高度;
执行下列公式:
第一右微分高度*底边长度+第二右微分高度*底边长度+……+第e右微分高度*底边长度=第二图形的面积;
判断第一图形的面积和第二图形的面积的大小:若第一图形的面积等于第二图形的面积时,获取分割线段的中点,记为执行圆心;
获取分割线段上每个底边线段对应的第一微分高度和第二微分高度;
将所有的高度做比较,获取最大的高度,记为执行半径;
将以执行圆心为圆心,以执行半径为半径所得的圆记为执行圆。
4.实现权利要求3所述的芯片自动化检测方法的系统,包括:数据测量模块:测量第一标记点距离底边线段的距离;测量第二标记点距离底边线段的距离;测量对照执行圆集中每个执行圆的半径;
数据处理模块:计算第一图形面积;计算第二图形面积;计算所有半径的均值;计算执行截面上执行圆的数量;计算执行截面上所有执行圆的体积;计算气泡体积;计算气泡孔隙率;
数据判断模块:判断第一图形的面积和第二图形的面积的大小,得到执行圆;将气泡孔隙率和阈值比例做比较,判断芯片是否合格。