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专利号: 2024117400679
申请人: 江苏明力思半导体有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-06-16
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种防异物电子级气动泵排气口结构,包括排气孔(6),其特征在于:所述排气孔(6)开设在电子级气动泵(1)中间下端,所述排气孔(6)内部安装有排气阀(5),所述排气阀(5)外侧安装有过滤消音单元(4);

所述过滤消音单元(4)包括过滤壳(41),所述过滤壳(41)内侧安装有过滤柱(45),所述过滤壳(41)侧面开设有通孔(44),所述过滤壳(41)一端固定连接有连接内螺纹柱管(46),所述过滤壳(41)外部通过连接块(43)固定连接有消音柱壳(42);

所述排气阀(5)包括第一外螺纹柱管(51),所述第一外螺纹柱管(51)一端固定连接有连接环板(53),所述连接环板(53)通过连接螺钉(52)与透明柱壳(54)固定连接,所述透明柱壳(54)内部安装有环形吸附板(58),所述环形吸附板(58)内部安装有导向环(55),所述透明柱壳(54)另一端焊接固定有六棱块(57),所述六棱块(57)内部固定连接有第二外螺纹柱管(56),所述第二外螺纹柱管(56)一端内侧安装有螺旋导板(59),所述第二外螺纹柱管(56)另一端内侧安装有单向阀(510)。

2.根据权利要求1所述的一种防异物电子级气动泵排气口结构,其特征在于:所述电子级气动泵(1)中间上端开设有用于和外部气泵进行连接的进气口(3),所述电子级气动泵(1)底端两侧均焊接固定有用于对电子级气动泵(1)整体进行支撑的固定底座(2)。

3.根据权利要求1所述的一种防异物电子级气动泵排气口结构,其特征在于:所述过滤壳(41)、消音柱壳(42)、过滤柱(45)与连接内螺纹柱管(46)同一轴心,所述连接内螺纹柱管(46)与第一外螺纹柱管(51)之间螺旋连接,所述消音柱壳(42)外侧呈环形等距开设有消音孔多个。

4.根据权利要求1所述的一种防异物电子级气动泵排气口结构,其特征在于:所述连接块(43)设有多个,所述连接块(43)设置在过滤壳(41)和消音柱壳(42)之间,所述通孔(44)设有若干,所述通孔(44)的截面为方形。

5.根据权利要求1所述的一种防异物电子级气动泵排气口结构,其特征在于:所述第一外螺纹柱管(51)、连接环板(53)、透明柱壳(54)、导向环(55)、第二外螺纹柱管(56)、环形吸附板(58)以及单向阀(510)同一轴心,所述第二外螺纹柱管(56)与排气孔(6)之间螺旋连接。

6.根据权利要求1所述的一种防异物电子级气动泵排气口结构,其特征在于:所述透明柱壳(54)的横截面为U型,所述透明柱壳(54)内壁与环形吸附板(58)之间的间距为0.5cm,所述透明柱壳(54)与第二外螺纹柱管(56)内部连通。

7.根据权利要求1所述的一种防异物电子级气动泵排气口结构,其特征在于:所述导向环(55)设有两个,两个所述导向环(55)分别与透明柱壳(54)以及连接环板(53)固定连接,两个所述导向环(55)之间平行。

8.根据权利要求1所述的一种防异物电子级气动泵排气口结构,其特征在于:所述六棱块(57)内部开设有圆孔,所述六棱块(57)内部开设的圆孔与第二外螺纹柱管(56)之间焊接固定,所述六棱块(57)与第二外螺纹柱管(56)之间所成的夹角为90°。

9.根据权利要求1所述的一种防异物电子级气动泵排气口结构,其特征在于:所述环形吸附板(58)内部开设有吸附孔,所述吸附孔设有多个,所述吸附孔呈环形等距分布在环形吸附板(58)内部。

10.基于权利要求1‑9任一项所述的一种防异物电子级气动泵排气口结构的使用方法,其特征在于:包括以下步骤:步骤Ⅰ:排气阀(5)安装:将排气阀(5)通过第二外螺纹柱管(56)与排气孔(6)进行连接,连接的过程中,使用与六棱柱(57)相适配的工具卡住六棱块(57),转动排气阀(5)整体进行连接,连接完成后,六棱块(57)与电子级气动泵(1)之间紧贴;

步骤Ⅱ:过滤消音单元(4)安装:通过第一外螺纹柱管(51)与连接内螺纹柱管(46)连接,实现排气阀(5)与过滤消音单元(4)的连接,连接完成后的第一外螺纹柱管(51)与连接内螺纹柱管(46)之间的密封通过涂抹密封胶实现,或者通过在第一外螺纹柱管(51)外侧缠绕密封胶带实现;

步骤Ⅲ:排气阀(5)对排气进行过滤:设备整体运行,气体通过排气孔(6)进入到排气阀(5),气体在进入排气阀(5)内部时,首先经过单向阀(510),然后经过螺旋导板(59)使排出的气体呈旋风,在旋风气体经过透明柱壳(54)时,气体中若含有颗粒杂质,杂质在离心力的作用下被甩到环形吸附板(58)上,在此过程中,导向环(55)具有对杂质进行离心的作用,最后气体经过第一外螺纹柱管(51)排出;

步骤Ⅳ:过滤消音单元(4)对排气阀(5)进行消音:经过第一外螺纹柱管(51)排出的气体进入到过滤壳(41)内部,然后经过过滤柱(45)过滤后,通过通孔(44)排出,排出的气体经过消音柱壳(42)消音,排放到外界。