1.一种薄膜材料力学性能监测方法,其特征在于,包括:
获取复合薄膜的待监测区域的图像数据,将所述待监测区域划分成多个第一监测区域;
依据薄膜缺陷分析模型识别获取多个所述第一监测区域的缺陷特征,并通过所述薄膜缺陷分析模型分析计算各个所述第一监测区域中的所述缺陷特征的第一监测影响值;
若所述第一监测影响值超过监测阈值,则将对应的所述第一监测区域划分为第一监测干扰区域;若所述第一监测影响值未超过监测阈值,则不进行处理;对所述复合薄膜的多个所述第一监测区域进行力学性能监测,记录并存储各个所述第一监测区域的第一性能参数和第二性能参数;
通过所述薄膜缺陷分析模型对比各个所述第一监测区域的所述第一性能参数,若所述第一性能参数的对比结果小于对比阈值,则将对应所述第一监测区域划分为第二监测干扰区域;
将各个所述第一监测区域的所述第二性能参数与参考第二性能数据进行对比,若所述第二性能参数异常,则将对应的所述第一监测区域划分为第三监测干扰区域;
依据所述第一监测区域、所述第二监测干扰区域和所述第三监测干扰区域评估所述复合薄膜的力学性能。
2.根据权利要求1所述的一种薄膜材料力学性能监测方法,其特征在于,所述待监测区域划分成大小为m*m的区域,m不小于压痕影响间距K。
3.根据权利要求1所述的一种薄膜材料力学性能监测方法,其特征在于,所述薄膜缺陷分析模型识别多个所述第一监测区域的缺陷特征、计算各个第一监测区域中的所述缺陷特征的第一监测影响值和对比各个所述第一监测区域的所述第一性能参数包括:所述薄膜缺陷分析模型包括薄膜图像输入单元、薄膜特征缺陷特征识别单元、薄膜影响值计算单元、薄膜性能参数对比单元和薄膜数据输出单元;
所述薄膜图像输入单元将所述第一监测区域的图像数据预处理,生成预处理薄膜数据;
所述薄膜特征缺陷特征识别单元识别所述预处理薄膜数据的缺陷特征,并标记所述缺陷特征区域,生成薄膜缺陷特征数据;所述薄膜特征缺陷特征识别单元识别所述预处理薄膜数据的压痕特征,生成薄膜压痕特征数据;所述薄膜压痕特征数据为所述第一性能参数;
所述薄膜影响值计算单元依据所述薄膜缺陷特征数据,计算所述第一监测影响值;所述薄膜性能参数对比单元遍历所有所述薄膜压痕特征数据进行对比,生成所述第一性能参数的所述对比结果;所述薄膜数据输出单元输出所述第一监测影响值和所述第一性能参数的所述对比结果。
4.根据权利要求3所述的一种薄膜材料力学性能监测方法,其特征在于,所述薄膜影响值计算单元依据所述薄膜缺陷特征数据,计算所述第一监测影响值包括:遍历所有所述第一监测区域,获取第i个所述第一监测区域的所述薄膜缺陷特征数据,依据第i个所述第一监测区域的最大所述薄膜缺陷特征数据的面积生成第一缺陷影响参数;依据第i个所述第一监测区域的最小所述薄膜缺陷特征数据的面积生成第二缺陷影响参数;
依据第i个所述第一监测区域的所有所述薄膜缺陷特征数据的面积占第i个所述第一监测区域的比值,生成第三缺陷影响参数;
以所述第一缺陷影响参数、所述第二缺陷影响参数和所述第三缺陷影响参数进行加权计算,获取所述第一监测影响值。
5.根据权利要求3所述的一种薄膜材料力学性能监测方法,其特征在于,所述薄膜性能参数对比单元遍历所有所述薄膜压痕特征数据进行对比,生成所述第一性能参数的所述对比结果包括:遍历所有所述第一监测区域的所述第一性能参数,对比第t个所述第一监测区域的所述第一性能参数和 个所述第一监测区域的所述第一性能参数,遍历 次;
生成所述第一性能参数的 个所述对比结果; 为所述第一性能参数的区域总数。
6.根据权利要求1所述的一种薄膜材料力学性能监测方法,其特征在于,将各个所述第一监测区域的所述第二性能参数与参考第二性能数据进行对比包括:依据LSTM模型获取各个所述第一监测区域的所述第二性能参数和所述参考第二性能数据的趋势特征;所述第二性能参数包括硬度和弹性模量;
将所述第二性能参数和所述参考第二性能数据的趋势特征进行对比,若出现异常,则获取所述第二性能参数的异常趋势特征趋势程度和所述异常趋势特征趋势数量;
依据所述第二性能参数的所述异常趋势特征趋势程度和所述异常趋势特征趋势数量计算所述第一监测区域的对比结果;
若所述对比结果小于异常对比监测值,则判断所述第二性能参数异常。
7.一种薄膜材料力学性能监测系统,其特征在于,包括:
区域划分模块,获取复合薄膜的待监测区域的图像数据,并划分成多个第一监测区域;
第一监测影响获取模块,依据薄膜缺陷分析模型识别获取多个所述第一监测区域的缺陷特征,并计算各个所述第一监测区域中的所述缺陷特征的第一监测影响值;
第一监测干扰区域判断模块,若所述第一监测影响值超过监测阈值,则将对应的所述第一监测区域划分为第一监测干扰区域;若所述第一监测影响值未超过监测阈值,则不进行处理;
力学性能监测模块,对所述复合薄膜的多个所述第一监测区域进行力学性能监测,记录并存储各个所述第一监测区域的第一性能参数和第二性能参数;
第二监测干扰区域判断模块,通过所述薄膜缺陷分析模型对比各个所述第一监测区域的所述第一性能参数,若所述第一性能参数的对比结果小于对比阈值,则将对应所述第一监测区域划分为第二监测干扰区域;
第三监测干扰区域判断模块,将各个所述第一监测区域的所述第二性能参数与参考第二性能数据进行对比,若所述第二性能参数异常,则将对应的所述第一监测区域划分为第三监测干扰区域;
力学性能评估模块,依据所述第一监测区域、所述第二监测干扰区域和所述第三监测干扰区域评估所述复合薄膜的力学性能。
8.根据权利要求7所述的一种薄膜材料力学性能监测系统,其特征在于,所述第一监测干扰区域判断模块的计算判断包括:遍历所有所述第一监测区域,获取第i个所述第一监测区域的薄膜缺陷特征数据,依据第i个所述第一监测区域的最大所述薄膜缺陷特征数据的面积生成第一缺陷影响参数;依据第i个所述第一监测区域的最小所述薄膜缺陷特征数据的面积生成第二缺陷影响参数;
依据第i个所述第一监测区域的所有所述薄膜缺陷特征数据的面积占第i个所述第一监测区域的比值,生成第三缺陷影响参数;
以所述第一缺陷影响参数、所述第二缺陷影响参数和所述第三缺陷影响参数进行加权计算,获取所述第一监测影响值。
9.根据权利要求7所述的一种薄膜材料力学性能监测系统,其特征在于,所述第二监测干扰区域判断模块的计算判断包括:遍历所有所述第一监测区域的所述第一性能参数,对比第t个所述第一监测区域的所述第一性能参数和 个所述第一监测区域的所述第一性能参数,遍历 次;
生成所述第一性能参数的 个所述对比结果; 为所述第一性能参数的区域总数。
10.根据权利要求7所述的一种薄膜材料力学性能监测系统,其特征在于,所述第三监测干扰区域判断模块的计算判断包括:依据LSTM模型获取各个所述第一监测区域的所述第二性能参数和所述参考第二性能数据的趋势特征;所述第二性能参数包括硬度和弹性模量;
将所述第二性能参数和所述参考第二性能数据的趋势特征进行对比,若出现异常,则获取所述第二性能参数的异常趋势特征趋势程度和所述异常趋势特征趋势数量;
依据所述第二性能参数的所述异常趋势特征趋势程度和所述异常趋势特征趋势数量计算所述第一监测区域的对比结果;若所述对比结果小于异常对比监测值,则判断所述第二性能参数异常。