1.一种具有分级结构的高传热性能超薄均热板吸液芯制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、对金属基板进行预处理；

S2、将完成预处理的金属基板放置于工作平台，设定激光加工参数后进行对焦，使激光光斑聚焦于金属基板表面；

S3、在所述金属基板上，沿所述金属基板的第一方向加工多条第一沟槽，多条所述第一沟槽的表面光滑；

所述步骤S3包括：通过以下参数设置，在所述金属基板上，沿所述金属基板的第一方向加工第一沟槽：激光脉宽3～15ps，激光扫描基础重复频率2000kHz，分频500kHz，激光扫描速度为1000～3000mm/s，扫描次数70～90次，激光能量大小为4～6μJ，扫描间距为0.005mm；

S4、在所述金属基板上，沿所述金属基板的第二方向，在多条第一沟槽上，加工第二沟槽，多条所述第二沟槽的表面上形成微纳米结构；

所述步骤S4包括：

通过以下参数设置，在所述金属基板上，沿所述金属基板的第二方向加工第二沟槽：激光脉宽3～15ps，激光扫描基础重复频率500kHz，激光扫描速度为500～600mm/s，扫描次数8～14次，激光能量大小为9～14μJ，扫描间距为0.008mm；

其中，所述第一方向垂直于所述第二方向，多条所述第一沟槽分别和多条所述第二沟槽垂直交叉；

所述第一沟槽的深度大于所述第二沟槽的深度，所述第一沟槽的深宽比大于所述第二沟槽的深宽比；

所述金属基板的厚度为0.5～1mm。

2.根据权利要求1所述具有分级结构的高传热性能超薄均热板吸液芯制备方法，其特征在于，所述步骤S1包括：将金属基板放置于超声波清洗机中，往超声波清洗机中倒入溶剂和金属除油脱脂清洗剂至金属除油脱脂清洗剂超过金属基板表面，超声清洗3～10分钟，将超声波清洗机中的溶剂和金属除油脱脂清洗剂倒出，倒入去离子水至液面超过金属基板表面，继续超声清洗3～

10分钟，完成预处理。

3.根据权利要求1所述具有分级结构的高传热性能超薄均热板吸液芯制备方法，其特征在于，所述步骤S3包括：所述激光脉宽为9ps，所述激光扫描速度为2000mm/s，所述扫描次数为80次，所述激光能量大小为5.8μJ。

4.根据权利要求1所述具有分级结构的高传热性能超薄均热板吸液芯制备方法，其特征在于，所述步骤S4包括：所述激光脉宽为9ps，所述激光扫描速度为550mm/s，所述扫描次数为12次，所述激光能量大小为10.8μJ。

5.根据权利要求1所述具有分级结构的高传热性能超薄均热板吸液芯制备方法，其特征在于，所述金属基板的材料为黄铜、紫铜或铝。

6.一种超薄均热板吸液芯，其特征在于，由权利要求1～5任一所述具有分级结构的高传热性能超薄均热板吸液芯制备方法制备而得。