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专利号: 2024109302053
申请人: 江西省泽普半导体科技有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-08-19
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种集成电路芯片制造用压膜装置,包括箱体底座(1),其特征在于:所述箱体底座(1)后端固定安装有液压阀(2),所述箱体底座(1)左右两侧均设有用于对芯片进行压膜的压膜机构(3),所述箱体底座(1)上侧设有用于运输芯片的运输机构(4),所述箱体底座(1)上侧中部设有用于翻转芯片的翻转机构(5);

所述压膜机构(3)包括支撑架(31),所述支撑架(31)内壁之间设有若干运输辊(32),位于中部的所述运输辊(32)下侧设有固定安装于所述支撑架(31)内壁之间的挡板(33),所述挡板(33)上侧设有两个往复螺杆(34),两个所述往复螺杆(34)表面均螺纹连接有螺纹块(35),两个所述螺纹块(35)左右两端均固定安装有L形杆(36),所述支撑架(31)上端固定安装有外壳(37),所述外壳(37)内腔设有往复组件(38),所述往复组件(38)下侧设有用于对芯片进行压膜的压膜辊(39);

所述翻转机构(5)包括转动安装于所述箱体底座(1)上端的弧形壳体(51),所述弧形壳体(51)内腔设有驱动组件(52),所述弧形壳体(51)弧形表面阵列开设有若干斜面(53),所述弧形壳体(51)弧形表面阵列固定安装有若干翻转杆(54),若干所述翻转杆(54)弧形表面均固定安装有若干橡胶环(55);

所述驱动组件(52)包括固定管一(521),所述固定管一(521)与所述液压阀(2)相连通,所述固定管一(521)内腔固定安装有固定管二(522),所述固定管二(522)内腔固定安装有液压管(523),所述液压管(523)弧形表面固定安装有两个矩形框(524),所述液压管(523)内壁阵列开设有若干流动孔(525),两个所述矩形框(524)内腔均滑动安装有活塞块(526)。

2.根据权利要求1所述的一种集成电路芯片制造用压膜装置,其特征在于:若干所述运输辊(32)采用链条相互连接,两个所述往复螺杆(34)采用连接杆相互连接,两个所述螺纹块(35)下端均紧紧贴合所述挡板(33)上端。

3.根据权利要求1所述的一种集成电路芯片制造用压膜装置,其特征在于:所述往复组件(38)包括矩形壳体(381),所述矩形壳体(381)前端固定安装有电机一(382),所述矩形壳体(381)前侧内壁转动安装有两个相互啮合的传动齿轮一(383),位于左侧的所述传动齿轮一(383)后端固定安装有凸轮(384),所述凸轮(384)与所述液压阀(2)相连通,所述凸轮(384)下侧设有转动安装于所述矩形壳体(381)内腔的下压板(385),所述下压板(385)下端右部转动安装有下压杆(386),所述下压杆(386)下端与所述压膜辊(39)上侧水平端面相连接。

4.根据权利要求3所述的一种集成电路芯片制造用压膜装置,其特征在于:位于右侧的所述传动齿轮一(383)与所述电机一(382)输出端相互连接,所述凸轮(384)与位于后侧的所述往复螺杆(34)采用皮带连接。

5.根据权利要求1所述的一种集成电路芯片制造用压膜装置,其特征在于:所述运输机构(4)包括电机二(41),所述箱体底座(1)上端固定安装有两个底板(42),两个所述底板(42)上端均开设有若干矩形槽,两个所述底板(42)内腔均设有两个传送带(44),所述箱体底座(1)前端左侧转动安装有两个相互啮合的传动齿轮二(45)。

6.根据权利要求5所述的一种集成电路芯片制造用压膜装置,其特征在于:位于右侧的两个传送带(44)与所述电机二(41)输出端采用皮带连接,位于左侧的所述传动齿轮二(45)与所述电机二(41)输出端采用皮带连接,位于右侧的所述传动齿轮二(45)与两个位于左侧的所述传送带(44)相互连接。

7.根据权利要求5所述的一种集成电路芯片制造用压膜装置,其特征在于:所述固定管一(521)前端与所述电机二(41)输出端相连接,两个所述矩形框(524)与所述液压管(523)通过若干流动孔(525)相互贯通。