利索能及
我要发布
收藏
专利号: 2024107022560
申请人: 山东汉芯科技有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:授权未缴费
更新日期:2025-05-11
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种晶圆密闭干燥装置,包括安装架和设置在安装架上的U形方管,安装架上端设置有水平板,水平板上设置有两个用于容纳U形方管的矩形凹槽,U形方管两端设置在对应的矩形凹槽内;其特征在于,还包括同步带、调节机构、固定机构、送气机构和封堵机构;

U形方管内部设置有用于容纳同步带的U形容纳槽,调节机构设置在水平板上并用于驱动同步带进行转动,固定机构有多组,固定机构设置在同步带上并用于对晶圆进行固定;每组固定机构均包括固定环、连接件和转动环;

固定环通过连接件与同步带连接,转动环同轴能够转动的设置在固定环内部,转动环与固定环之间能够转动的设置有调节环,转动环内部径向设置有多个能够随着调节环转动同步移动的抵触杆,每个抵触杆靠近转动环轴线的一端设置有卡爪;

转动环一端径向设置有多个铰接槽,每个铰接槽内均铰接有扇形叶片,转动环外壁同轴设置有轴向环,轴向环一端径向设置有多个第一铰接部,每个扇形叶片上设置有第二铰接部,第一铰接部与对应第二铰接部之间通过铰接杆连接;

U形方管一侧外壁设置有用于添加清洗液的加水口,送气机构设置在U形方管远离加水口的一侧并用于向U形方管内部输送气体,封堵机构设置在U形方管靠近送气机构的一端并能够随着同步带的转动间隙性的对U形方管开口端进行封堵和打开。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆密闭干燥装置,其特征在于,调节机构包括同步轮和驱动件;

同步轮有两个,两个同步轮能够转动的设置在水平板顶部并且相对于水平板中心处呈镜像设置,同步带套设于两个同步轮上,两个同步轮之间的同步带呈水平状态;

驱动件设置在水平板上并用于驱动其中一个同步轮进行转动。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆密闭干燥装置,其特征在于,每组固定机构还包括滑动筒;

固定环内壁镜像设置有两个弧形引导槽,调节环外壁镜像设置有两个与弧形引导槽配合的引导柱,引导柱能够滑动的设置在对应的弧形引导槽内,每个弧形引导槽两端设置有用于容纳引导柱的暂存槽;

转动环内壁径向设置有多个滑动孔,滑动筒有多个,滑动筒能够滑动的设置在对应的滑动孔内,每个滑动筒的开口端均朝向对应转动环中心处,每个抵触杆均能够滑动的设置在对应的滑动筒内,每个滑动筒内壁镜像设置有两个导向槽,每个抵触杆伸入滑动筒的一端外壁镜像设置有与导向槽配合的导向块,导向块能够滑动的设置在对应的导向槽内,每个滑动筒内部还设置有推动弹簧,推动弹簧位于对应抵触杆与对应滑动筒底部内壁之间;

每个滑动筒的开口端还设置有用于对抵触杆位置进行限制的限位环;

每个滑动筒底部还设置有连接盘,每个滑动筒上还套设有压缩弹簧,压紧弹簧位于对应连接盘与转动环外壁之间,连接盘远离滑动筒的一端还设置有牛眼轮,每个调节环内壁设置有与牛眼轮配合的环形倾斜面。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆密闭干燥装置,其特征在于,每组连接件均包括安装座、转动轴和卷收轮;

安装座设置在同步带上,转动轴能够转动的设置在安装座上,转动轴远离安装座的一端设置有调节块,每个固定环外壁设置有翻转条,每个翻转条远离固定环的一端两侧设置有复位杆,每个调节块上设置有矩形缺槽,矩形缺槽两侧内壁设置有用于容纳复位杆的容纳孔,复位杆能够转动的设置在对应的容纳孔内,每个复位杆上均设置有第一复位扭簧;

卷收轮设置在转动轴上,矩形缺槽两侧均设置有引导板,引导板上设置有导绳孔,每个翻转条两侧均设置有牵引绳,牵引绳通过对应导绳孔缠绕在卷收轮上,每个转动轴上还设置有第二复位扭簧,第二复位扭簧位于对应卷收轮与安装座之间;

每个卷收轮底部镜像设置有两个反应杆,水平板上设置有两个与反应杆配合的反应板,两个反应板设置在同步带输送方向的两侧并且相对于水平板中心处呈中心对称;

固定环内部还设置有水平环,水平环与调节环抵触并且位于转动环远离铰接槽的一端,轴向环能够转动的设置在水平环内部,水平环外壁镜像设置有两个导向板,固定环内壁镜像设置有两个竖直槽,每个竖直槽内均设置有连接杆,导向板能够滑动的设置在对应的竖直槽内,导向板上设置有用于供连接杆穿过的导向孔,每个连接杆上还套设有用于使调节环与对应水平环紧贴的伸缩弹簧;每个扇形叶片上还设置有用于放置晶圆的水平条;

每个固定环上还设置有用于使调节环进行旋转的旋转机构。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆密闭干燥装置,其特征在于,每组旋转机构均包括匚形安装框和旋转轴;

匚形安装框设置在固定环靠近调节环的一端边缘处并且位于远离翻转条的一侧,匚形安装框顶部中心处设置有旋转孔,旋转轴能够转动的设置在旋转孔内,旋转轴位于匚形安装框内部的一端设置有旋转盘,旋转盘外壁径向设置有多个第一连接柱,每个调节环远离水平环的一端沿轴线方向设置有多个与第一连接柱配合的第二连接柱,旋转轴位于匚形安装框外部的一端设置有摩擦轮。

6.根据权利要求4所述的一种晶圆密闭干燥装置,其特征在于,水平环一端径向设置有多个过水孔,转动环内壁径向设置有多个冲洗孔,冲洗孔呈喇叭口形状。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆密闭干燥装置,其特征在于,送气机构包括供气盒和空气加热器;

U形方管靠近封堵机构的一端两侧设置有用于容纳供气盒的条形斜槽,供气盒设置在对应的条形斜槽内,每个供气盒靠近U形方管内部的一端设置有条形出气口,空气加热器设置在安装架上,空气加热器通过连接管向对应的供气盒内部供气。

8.根据权利要求7所述的一种晶圆密闭干燥装置,其特征在于,封堵机构包括封堵板;

封堵板有两个,每个封堵板沿长度方向的两端设置有翻转杆,U形方管靠近空气加热器的一端两侧内壁设置有两个用于容纳翻转杆的安装孔,翻转杆能够转动的设置在对应的安装孔内,每个翻转杆上均设置有第三复位扭簧。

9.根据权利要求1所述的一种晶圆密闭干燥装置,其特征在于,U形方管上还设置有两个连通U形方管两端的导流管,导流管呈倾斜设置,每个导流管上均设置有第一单向阀。

10.根据权利要求1所述的一种晶圆密闭干燥装置,其特征在于,U形方管下端设置有排水管,排水管上设置有第二单向阀。