1.一种半导体工件制作用检测系统,其特征在于,包括:
图像采集模块(1),用于部署在制作产线上,获取原料制备前、制备中和产品制备完毕的图像数据,依据不同产品建立对应标准图像参考系,以标准图像参考系内数据实时比对当前获取图像数据,判断是否存在异常;
工况采集模块(2),用于获取各工件制作设备的运行参数,按照预设采集周期,定期接收并转化设备工况参数,判断是否存在异常;
属性确定模块(3),用于获取异常判断所指向的异常参数,并进行对应归类,并下发归类标签,上传至数据库内;
问题分析模块(4),用于依据异常参数进行分析,输出检测报告至管理端,自动分析解决方案,并接收和上传人工介入解决方案,并记录确认对异常参数有效解决的方案数据,进行关键特征提取后,上传至数据库;
同类索引模块(5),用于在接收到异常参数时,获取当前异常参数所指向的归类标签,提取该数据的关键特征,在该归类标签内,通过其关键特征进行索引,匹配同类异常参数指向的有效方案数据;
汇总评估模块(6),用于获取所有同类索引模块(5)抓取的有效方案数据,依据当前异常参数的原始数据进行评估,将有效性最高的方案数据进行提取并显示;
共享模块(7),用于提供共享方案数据平台,在通过身份验证后,输入异常参数,提供查询交互服务;
配网模块(8),用于提供物联网支持,为各用网模块提供网络权限;
所述属性确定模块(3)获取的图像数据,通过畸变矫正处理表达成像模型,其计算公式为:;
式中, 为理想成像二维像素坐标值, 为实际成像二维像素坐标值,K
为径向扭曲系数,当K>0时为正畸变,物体图像向内凹陷;当K<0时为负畸变,物体图像往外凸出;
所述属性确定模块(3)将数据进行归类后,需确认同类索引模块(5)是否存在反馈数据,若不存在反馈数据,则将归类数据打包递交至问题分析模块(4),反之,则暂时中止数据传输至问题分析模块(4);
所述汇总评估模块(6)的评估结果通过损失函数进行计算,以计算结果衡量目标检测模型的定位精度,其评估结果的计算公式为:;
式中,R代表评估结果,n代表样本的个数, 为第i个样本的预测值,为第i个样本的真实值。
2.根据权利要求1所述的一种半导体工件制作用检测系统,其特征在于,所述图像采集模块(1)通过无线网络交互连接有关联模块(9),所述关联模块(9)与工况采集模块(2)通过无线网络交互连接,所述关联模块(9)作为跳转端,当图像采集模块(1)和工况采集模块(2)各自获取异常数据时,对另一方关联异常数据区域进行数据调用,并进行再采集,作为辅助判断参考。
3.根据权利要求1所述的一种半导体工件制作用检测系统,其特征在于,所述图像采集模块(1)通过连通域提取将像素相连的区域合并成一个整体,获取图像中的关键区域,对经过阈值处理后的工件图像进行连通域的提取,将像素不相连的区域标记成不同的连通域,提取并连接工件边缘,设置宽度阈值范围,提取满足该范围的轮廓。
4.根据权利要求1所述的一种半导体工件制作用检测系统,其特征在于,所述配网模块(8)通过无线网络交互连接有节点获取模块(10),所述节点获取模块(10)用于为各生产节点下发控制权限,支持产品信息的溯源,在登录后提供介入交互界面。
5.根据权利要求4所述的一种半导体工件制作用检测系统,其特征在于,所述节点获取模块(10)通过无线网络交互连接有反馈模块(11),所述反馈模块(11)用于获取未检测成品所上交的异常,在触发后,根据产品信息对接节点获取模块(10)开展溯源,并获取相关批次的图像采集模块(1)和工况采集模块(2)检测与运行数据,进行参考分析,判断生产周期内是否存在异常。
6.根据权利要求1所述的一种半导体工件制作用检测系统,其特征在于,所述图像采集模块(1)、工况采集模块(2)与属性确定模块(3)通过电信号通讯连接,所述属性确定模块(3)与问题分析模块(4)、同类索引模块(5)通过无线网络交互连接,所述同类索引模块(5)与汇总评估模块(6)通过无线网络交互连接,所述汇总评估模块(6)与共享模块(7)通过无线网络交互连接,所述共享模块(7)与配网模块(8)通过无线网络交互连接。
7.一种半导体工件制作用检测方法,所述方法是对如权利要求1‑6中任意一项所述的一种半导体工件制作用检测系统的实施方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤1:获取生产线上的图像数据与设备运行数据,判断是否存在异常;
步骤2:将异常数据进行归类,依据归类特征在数据库内进行索引,若存在关联数据,则调取同类型数据的处理方案数据,进行评估后进行引用;
步骤3:若数据库内不存在关联数据,则进行计算,分析解决方案并申请人工介入;
步骤4:获取有效方案后,将该方案及其指向问题进行记录并归类至数据库内;
步骤5:外部获取到产品异常数据后,对关联产品的相关批次的检测设备进行溯源,分析该产品生产周期是否存在异常。