1.基于微波负阻电路补偿技术的高分辨率气体传感器,其特征在于,包括无源谐振腔体和负阻电路(2),所述无源谐振腔体由第一介质基板(11)、第二介质基板(12)、第三介质基板(13)和第四介质基板(14)组成,所述第一介质基板(11)位于第二介质基板(12)的顶部,第二介质基板(12)位于第三介质基板(13)的顶部,第三介质基板(13)位于第四介质基板(14)的顶部,所述第一介质基板(11)中均匀开设有多个第一金属通孔(111),所述第二介质基板(12)中均匀开设有多个第二金属通孔(121),所述第三介质基板(13)中均匀开设有多个第三金属通孔(131),所述第四介质基板(14)中均匀开设有多个第四金属通孔(141);
所述第一介质基板(11)的顶部蚀刻出第一共面波导馈电线(115)、第二共面波导馈电线(116)和第三共面波导馈电线(117),所述第一共面波导馈电线(115)和第二共面波导馈电线(116)均位于第一介质基板(11)的顶层,所述第三共面波导馈电线(117)位于第一介质基板(11)的另一端,所述第三共面波导馈电线(117)与负阻电路(2)连接;
所述第二介质基板(12)的顶部固定有第一矩形金属层(123),所述第二介质基板(12)的底部固定有第二介质基板底层金属(124),所述第三介质基板(13)的顶部固定有第三介质基板顶层金属(134),所述第三介质基板(13)的底部固定有第二矩形金属层(133);
所述第二介质基板(12)的中心区域开设有矩形阵列的第五金属化通孔(122),所述第三介质基板(13)的中心区域开设有矩形阵列的第六金属化通孔(132),且第五金属化通孔(122)与第六金属化通孔(132)的大小与排列方式相同;
所述第五金属化通孔(122)的底部与第二介质基板底层金属(124)相连,所述第五金属化通孔(122)的顶部与第一矩形金属层(123)相连,形成上电容柱;
所述第二介质基板底层金属(124)靠近第三共面波导馈电线(117)的一侧蚀刻有第一矩形缝隙(125),且所述第一矩形缝隙(125)靠近第二金属通孔(121);
所述第六金属化通孔(132)的顶部与第三介质基板顶层金属(134)相连,所述第六金属化通孔(132)的底部与第二矩形金属层(133)相连,形成下电容柱;
所述第三介质基板顶层金属(134)靠近第三共面波导馈电线(117)的一侧蚀刻有第二矩形缝隙(135),且所述第二矩形缝隙(135)靠近第三金属通孔(131),所述第二矩形缝隙(135)与第一矩形缝隙(125)尺寸相同;
所述第二介质基板(12)两侧的内部均蚀刻有第三未金属化通孔(127),所述第三介质基板(13)两侧的内部均蚀刻有第四未金属化通孔(137),所述第三未金属化通孔(127)和第四未金属化通孔(137)均形成金属栅孔,且第三未金属化通孔(127)形成的金属栅孔与第四未金属化通孔(137)形成的金属栅孔大小与排列方式一致。
2.根据权利要求1所述的基于微波负阻电路补偿技术的高分辨率气体传感器,其特征在于,所述第一介质基板(11)的底部开设有第一矩形阶梯槽,所述第一矩形阶梯槽由第一矩形槽(113)和第二矩形槽(114)组成,所述第一介质基板(11)的内部开设有第一未金属孔(112),所述第一未金属孔(112)的内侧与第一矩形槽(113)连接。
3.根据权利要求2所述的基于微波负阻电路补偿技术的高分辨率气体传感器,其特征在于,所述第四介质基板(14)的顶部开设有第二矩形阶梯槽,所述第二矩形阶梯槽由第三矩形槽(143)和第四矩形槽(144)组成,所述第四介质基板(14)的内部开设有第二未金属孔(142),所述第二未金属孔(142)的内侧与第三矩形槽(143)连接。
4.根据权利要求3所述的基于微波负阻电路补偿技术的高分辨率气体传感器,其特征在于,所述第一矩形槽(113)和第三矩形槽(143)为两个相同体积大小的空气填充层;
所述第二矩形槽(114)和第四矩形槽(144)为两个相同体积大小的敏感材料放置区。
5.根据权利要求4所述的基于微波负阻电路补偿技术的高分辨率气体传感器,其特征在于,所述第二矩形槽(114)、第四矩形槽(144)、第一矩形金属层(123)和第二矩形金属层(133)的长宽尺寸相等,所述第一矩形槽(113)、第二矩形槽(114)、第五金属化通孔(122)、第一矩形金属层(123)、第六金属化通孔(132)、第二矩形金属层(133)、第三矩形槽(143)、第四矩形槽(144)的中心位于一条竖直直线上。
6.根据权利要求1所述的基于微波负阻电路补偿技术的高分辨率气体传感器,其特征在于,所述第二介质基板(12)的内部且与第一共面波导馈电线(115)和第二共面波导馈电线(116)对应的位置均开设有第一矩形缺口(126),所述第三介质基板(13)的内部且与第一共面波导馈电线(115)和第二共面波导馈电线(116)对应的位置均开设有第二矩形缺口(136),所述第四介质基板(14)的内部且与第一共面波导馈电线(115)和第二共面波导馈电线(116)对应的位置均开设有第三矩形缺口(145)。