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专利号: 2023236311756
申请人: 青州市邦朋真空科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-09-29
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种真空镀膜机的抽气机构,其特征在于,包括:管体和滑柱,所述滑柱滑动连接所述管体,所述管体内部设有第一挡板和第二挡板,所述滑柱滑动连接所述第一挡板,所述滑柱对应所述第一挡板设有间隔布置的球形凸起,两个球形凸起的间距大于所述第一挡板的厚度,所述滑柱滑动连接所述第二挡板,所述第二挡板上设有若干通气部,所述通气部用于单向连通所述第二挡板的两侧空间。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜机的抽气机构,其特征在于,所述滑柱的对应所述第二挡板设有辅助板,所述辅助板直径大于所述滑柱的直径。

3.根据权利要求2所述的真空镀膜机的抽气机构,其特征在于,所述滑柱弹性连接所述管体。

4.根据权利要求1‑3任一项所述的真空镀膜机的抽气机构,其特征在于,所述通气部包括:柔性吸盘,所述柔性吸盘固定连接所述第二挡板,所述柔性吸盘的四周设有若干通孔,所述柔性吸盘能够覆盖其四周的所述通孔。

5.根据权利要求4所述的真空镀膜机的抽气机构,其特征在于,所述柔性吸盘为硅胶材质。

6.根据权利要求1‑3任一项所述的真空镀膜机的抽气机构,其特征在于,所述通气部包括:若干鸭嘴阀,所述鸭嘴阀用于控制气流的单向流动。