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专利号: 2023234016479
申请人: 迪森(常州)能源装备有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-08-25
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种炉腔体排气结构,其特征在于,包括炉体及安装在所述炉体上的排气装置,所述炉体的侧壁设有多个排气孔,所述排气孔的最低位置与坩埚的最高位置在同一水平线上;

所述排气装置包括安装件、安装在所述安装件上的排气管及与所述排气管相连的闪蒸罐,所述安装件用于容置于所述排气孔内,所述安装件设有多个第一安装孔,所述第一安装孔轴向贯穿所述安装件设置;所述排气管的一端用于安装在所述第一安装孔内,所述排气管的另一端与所述闪蒸罐活动相连,所述闪蒸罐设有与真空泵相连的出气管。

2.根据权利要求1所述的炉腔体排气结构,其特征在于,所述安装件与所述排气孔通过螺纹相连。

3.根据权利要求1所述的炉腔体排气结构,其特征在于,所述排气孔呈圆形状。

4.根据权利要求1所述的炉腔体排气结构,其特征在于,所述安装件呈圆柱状。

5.根据权利要求1所述的炉腔体排气结构,其特征在于,所述闪蒸罐包括上部的闪蒸部及下部的沉淀收集部,所述出气管设于所述闪蒸部的上方。

6.根据权利要求5所述的炉腔体排气结构,其特征在于,所述沉淀收集部与所述闪蒸部为螺纹相连。

7.根据权利要求1所述的炉腔体排气结构,其特征在于,所述排气装置还包括安装在所述安装件上的电加热器,所述安装件还包括第二安装孔,所述第二安装孔位于所述安装件的中部,所述电加热器用于安装在所述第二安装孔内,各所述第一安装孔围绕所述第二安装孔的周围设置。

8.根据权利要求7所述的炉腔体排气结构,其特征在于,所述第二安装孔朝向于所述炉体内的一端为封闭端。

9.一种压力容器,所述压力容器为单晶硅炉、双晶硅炉、蓝宝石炉中的一种,其特征在于,所述压力容器包括如权利要求1‑8任一项所述的炉腔体排气结构。