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专利号: 2023227693732
申请人: 沈阳东固真空设备有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-07-01
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种具有微调结构的气体流量控制器,其特征在于:包括竖向设置且两端均封口的装置主管(1),所述装置主管(1)两侧外表面的下部均横向连通有流通管(2),所述装置主管(1)的内部设置有外径大小与其内径大小相适配的活动柱(4),所述活动柱(4)的一侧表面横向贯通开设有与两个所述流通管(2)内径相适配的流通孔(5);

所述装置主管(1)的顶端开设有安装孔,所述安装孔的内部固定连接有螺纹套(8),所述螺纹套(8)的内部竖向螺纹连接有螺纹杆(9),所述螺纹杆(9)的底端转动连接于所述活动柱(4)的上表面,所述螺纹杆(9)的外表面且位于所述螺纹套(8)的上方横向固定连接有连接盘(11),所述连接盘(11)的外表面竖向固定连接有向下延伸的延伸筒(12),所述延伸筒(12)外表面的底端固定连接有外齿环(13),一个所述流通管(2)的上表面竖向转动连接有拨动片(14),所述拨动片(14)的顶端竖向固定连接有与所述外齿环(13)相互啮合的齿柱(15)。

2.如权利要求1所述的一种具有微调结构的气体流量控制器,其特征在于:所述齿柱(15)的外径小于所述外齿环(13)的外径。

3.如权利要求1所述的一种具有微调结构的气体流量控制器,其特征在于:所述装置主管(1)的下表面中部竖向贯通开设有气孔(6)。

4.如权利要求1所述的一种具有微调结构的气体流量控制器,其特征在于:所述活动柱(4)外表面的上端和下端均固定连接有密封胶环(16)。

5.如权利要求1所述的一种具有微调结构的气体流量控制器,其特征在于:所述装置主管(1)的下表面竖向贯通开设有多个导向孔,多个所述导向孔的内部均竖向滑动连接有导向条(7),多个所述导向条(7)的顶端均固定连接于所述活动柱(4)的下表面。

6.如权利要求1所述的一种具有微调结构的气体流量控制器,其特征在于:两个所述流通管(2)的外端均固定连接有法兰盘(3)。

7.如权利要求1所述的一种具有微调结构的气体流量控制器,其特征在于:所述螺纹杆(9)的顶端固定连接有转动盘(10)。