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专利号: 2023225732696
申请人: 江苏明力思半导体有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-06-16
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种循环防漏型电子级气动泵泵芯,其特征在于,包括泵芯本体(2),所述泵芯本体(2)侧壁开设有进液口(3)和出液口(4),所述进液口(3)处安装有进液管(5),所述出液口(4)处安装有出液管(6),其中,所述进液管(5)包括:进液部(51),所述进液部(51)连通外部设备,所述进液部(51)的出液端通过过渡部(52)连通出液部(53),所述出液部(53)的直径大于进液部(51)的直径,降低出液部(53)的流体阻力。

2.根据权利要求1所述的一种循环防漏型电子级气动泵泵芯,其特征在于,所述出液管(6)的结构与进液管(5)的结构相同,其中,出液管(6)的出液部(53)与泵芯本体(2)的出液口(4)连接,出液管(6)的进液部(51)与外部设备连接。

3.根据权利要求1所述的一种循环防漏型电子级气动泵泵芯,其特征在于,所述进液管(5)、出液管(6)均采用PFA材料焊条配合PTM1胶焊接胶合密封在泵芯的进液口(3)、出液口(4)。

4.根据权利要求1所述的一种循环防漏型电子级气动泵泵芯,其特征在于,所述出液部的直径计算公式为:式中:Re为流体层流的流速,μ为流体粘度(mPa·s),U为流体的平均流速(m/s),ρ为流3

体密度(kg/m)。

5.根据权利要求4所述的一种循环防漏型电子级气动泵泵芯,其特征在于,所述过渡部(52)为漏斗形,其大口径端靠近泵芯本体(2),其侧壁与中轴线之间的夹角为锐角。

6.根据权利要求1‑5任意一项所述的一种循环防漏型电子级气动泵泵芯,其特征在于,所述进液管(5)、出液管(6)与泵芯本体(2)均采用PTFE材料制成。