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专利号: 2023220616294
申请人: 江苏钰晶半导体科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-05-14
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种半导体晶圆倒角工装,包括安装底座(1),安装底座(1)的上侧中心位置固定连接有支撑架(2),支撑架(2)为梯形架,支撑架(2)的中心位置开设有约束孔(3),约束孔(3)的内部设置有伺服电机(4),伺服电机(4)的输出端固定连接有旋转轴(15),旋转轴(15)的输出端固定连接有抓手(16),安装底座(1)的上侧固定连接有固定架(13),固定架(13)上对应抓手(16)的位置设置有倒角机(14),其特征在于:所述安装底座(1)的底侧对应伺服电机(4)的圆周连接有支撑脚(5),支撑脚(5)至少有三个,支撑脚(5)与伺服电机(4)相互靠近的一侧弧面相适配,支撑脚(5)对应伺服电机(4)的一侧等距安装有凸块(6),伺服电机(4)上设置有驱动伺服电机(4)向下移动的按压结构。

2.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆倒角工装,其特征在于:所述按压结构包括固定连接在伺服电机(4)外侧圆周的连接套(7),连接套(7)的上侧等距开设有螺纹槽(8),螺纹槽(8)贯穿连接套(7)的壁面延伸至支撑架(2)的内部,螺纹槽(8)的内部螺纹连接有锁紧螺纹柱(9)。

3.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆倒角工装,其特征在于:所述安装底座(1)的侧面等距开设有透气槽(10),透气槽(10)为矩形槽。

4.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆倒角工装,其特征在于:所述安装底座(1)的上侧对称固定连接有两个安装腿(11),安装腿(11)为矩形块,两个安装腿(11)的上侧固定连接有挡板(12),旋转轴(15)贯穿挡板(12)设置。