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专利号: 2023219095239
申请人: 上海祎丰环保科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2025-08-19
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种晶圆加工用可调式定位夹具,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的顶端设有固定框架(2),所述固定框架(2)的前后两端侧壁上均设有调节滑槽(3),两个所述调节滑槽(3)内均设有连接螺杆(4),所述连接螺杆(4)的外壁上均活动套接有锁紧螺帽(5),所述固定框架(2)内共设有两个夹持机构(6)和两个按压机构(7),且两个所述按压机构(7)分别位于两个夹持机构(6)的右侧,所述夹持机构(6)包括支撑块(8),所述支撑块(8)的顶端前后两侧均设有调节螺杆(9),所述调节螺杆(9)的顶端均连接有升降板(11),所述升降板(11)上设有螺纹贯穿通孔,所述升降板(11)上的螺纹贯穿通孔内设有夹持螺杆(12),两根所述夹持螺杆(12)相互靠近的一侧均设有弧形块(13)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用可调式定位夹具,其特征在于:所述按压机构(7)包括两个凸块(16),所述凸块(16)的顶端均设有升降螺杆(17),两根所述升降螺杆(17)的顶端共同连接有连接管(18),所述连接管(18)的外壁上固定安装有延伸块(19),所述延伸块(19)的上下两端设有螺纹贯穿通孔,所述延伸块(19)上的螺纹贯穿通孔内设有限位螺杆(20),所述限位螺杆(20)的底端设有按压板(21)。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用可调式定位夹具,其特征在于:所述支撑块(8)的顶端设有两个凹槽,且两个凹槽内均设有升降柱(10),且两根所述升降柱(10)的顶端分别固定连接一个升降板(11),且所述升降柱(10)均位于调节螺杆(9)的右边。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用可调式定位夹具,其特征在于:两根所述夹持螺杆(12)相互靠近的一侧均设有旋转连接环,且两个所述旋转连接环相互靠近的一侧与两个弧形块(13)之间均通过连接转轴(14)相互连接。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用可调式定位夹具,其特征在于:所述支撑块(8)的顶端设有底托板(15),且所述底托板(15)位于两个升降板(11)之间并固定连接支撑块(8)。

6.根据权利要求2所述的一种晶圆加工用可调式定位夹具,其特征在于:所述凸块(16)上下两端设有与升降螺杆(17)直径尺寸相匹配的螺纹贯穿通孔,所述凸块(16)上的螺纹贯穿通孔内安装有防折螺纹套。

7.根据权利要求2所述的一种晶圆加工用可调式定位夹具,其特征在于:所述限位螺杆(20)的底端固定连接有铰链,且铰链未连接限位螺杆(20)的一侧固定连接按压板(21)。