1.一种箔片动压空气轴承用静刚度测量装置,包括底座(1)、外导套(2)、导轨轴(3)、测量机构(6)以及加载机构(7);其特征在于:所述导轨轴(3)滑动连接于外导套(2)内,且导轨轴(3)外周面与外导套(2)的内周面相贴合;所述加载机构(7)设置于外导套(2)上,所述加载机构(7)用于对导轨轴(3)施加压力;所述外导套(2)和底座(1)之间设有至少两个支撑柱(4),所述外导套(2)和底座(1)通过支撑柱(4)相对固定;所述测量机构(6)包括位移传感器(61)、环板(62)以及蜗杆(64),所述底座(1)靠近外导套(2)的端面开设有环槽(11),所述环板(62)转动连接于环槽(11)内,所述位移传感器(61)安装于环板(62)上,所述环板(62)的外周面一体成型有与蜗杆(64)适配的蜗轮齿部(63),所述蜗杆(64)转动穿设于底座(1)内,并与蜗轮齿部(63)相啮合,所述底座(1)靠近外导套(2)的端面设置有角度刻度(65),所述角度刻度(65)沿环板(62)的周向布设。
2.根据权利要求1所述的一种箔片动压空气轴承用静刚度测量装置,其特征在于:相邻两个所述支撑柱(4)之间形成有可供空气动压轴承放入的安装口,所述底座(1)靠近外导套(2)的端面中心固定有定位柱(5)。
3.根据权利要求1或2所述的一种箔片动压空气轴承用静刚度测量装置,其特征在于:
所述加载机构(7)包括加载套筒(71)、顶杆(72)以及压力传感器(73),所述加载套筒(71)固定于外导套(2)上,所述加载套筒(71)内形成有导向腔(711),所述导轨轴(3)的端面一体成型有套管(31),所述套管(31)位于导向腔(711)内,所述套管(31)与导轨轴(3)共轴线,所述套管(31)的外周面与导向腔(711)的内壁贴合,所述压力传感器(73)设置于套管(31)内,所述顶杆(72)穿设于加载套筒(71)内并与加载套筒(71)螺纹连接,所述顶杆(72)穿入加载套筒(71)的一端与压力传感器(73)抵接。
4.根据权利要求3所述的一种箔片动压空气轴承用静刚度测量装置,其特征在于:所述顶杆(72)靠近压力传感器(73)的一端固定有压板(74),所述套管(31)远离导轨轴(3)的端面固定有封板(32),所述封板(32)中心开设有供顶杆(72)穿过的穿孔,所述压板(74)位于封板(32)靠近导轨轴(3)的一侧,所述压板(74)的直径大于封板(32)的直径。
5.根据权利要求4所述的一种箔片动压空气轴承用静刚度测量装置,其特征在于:所述压力传感器(73)呈环形,所述压力传感器(73)的外周面与套管(31)内壁贴合,所述导轨轴(3)靠近加载套筒(71)的端面中心一体成型有定位凸块(33),所述压力传感器(73)套设于定位凸块(33)外。
6.根据权利要求5所述的一种箔片动压空气轴承用静刚度测量装置,其特征在于:所述顶杆(72)远离压力传感器(73)的一端穿设有转杆(721),所述转杆(721)与顶杆(72)垂直,且与顶杆(72)滑动连接,所述转杆(721)两端固定有挡球。