利索能及
我要发布
收藏
专利号: 2023217243132
申请人: 德莱诺电子科技(昆山)有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2024-10-29
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种复合光学膜片,包括基底玻璃层(1),其特征在于:所述基底玻璃层(1)的顶部设置有硅氧化物薄膜(2),所述硅氧化物薄膜(2)的顶部设置有二氧化硅薄膜(3),所述二氧化硅薄膜(3)的顶部设置有氮化硅薄膜(4),所述氮化硅薄膜(4)的顶部设置有铝薄膜(5)。

2.根据权利要求1所述的一种复合光学膜片,其特征在于:所述硅氧化物薄膜(2)采用物理气相沉积在基底玻璃层(1)的顶部。

3.根据权利要求1所述的一种复合光学膜片,其特征在于:所述二氧化硅薄膜(3)采用溅射沉积在硅氧化物薄膜(2)的顶部。

4.根据权利要求1所述的一种复合光学膜片,其特征在于:所述氮化硅薄膜(4)采用溅射沉积在二氧化硅薄膜(3)的顶部。

5.根据权利要求1所述的一种复合光学膜片,其特征在于:所述铝薄膜(5)采用物理气相沉积在氮化硅薄膜(4)的顶部。