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专利号: 2023216922916
申请人: 新沂市中鑫光电科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2025-12-01
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种石英坩埚的夹持工装,其特征在于:包括防滑底座(1),所述防滑底座(1)的顶部固定连接有加工台(2),所述加工台(2)的一侧安装有控制面板(3),所述加工台(2)的内部安装有传动机构(4),所述传动机构(4)的顶部安装有夹持机构(5),所述夹持机构(5)的顶部设置有石英坩埚本体(6),所述加工台(2)顶部的一侧固定安装有第一支撑架(7),所述第一支撑架(7)的表面固定安装有边缘打磨组件(8),所述加工台(2)顶部的另一侧固定安装有第二支撑架(9),所述第二支撑架(9)的表面固定安装有顶部打磨组件(10),所述第一支撑架(7)的顶部固定安装有顶座(11),且顶座(11)的一端与第二支撑架(9)的顶部固定连接,所述顶座(11)的表面固定安装有压持机构(12),且压持机构(12)位于石英坩埚本体(6)的正上方。

2.根据权利要求1所述的一种石英坩埚的夹持工装,其特征在于:所述传动机构(4)包括转动电机(401)、转动盘(402)、支撑柱(403)和安装盘(404),所述转动电机(401)安装于加工台(2)中,所述转动盘(402)固定安装于加工台(2)中,且转动盘(402)的输出端与转动电机(401)连接,所述支撑柱(403)固定连接于转动电机(401)上,所述安装盘(404)固定安装于支撑柱(403)上。

3.根据权利要求2所述的一种石英坩埚的夹持工装,其特征在于:所述夹持机构(5)包括固定座(501)、柱杆(502)、连接件(503)、电控伸缩杆(504)、夹持弧板(505)、夹持防护垫(506)和驱动控制器(507),所述固定座(501)固定安装于安装盘(404)上,且固定座(501)的数量为三个,所述柱杆(502)转动连接于固定座(501)上,所述连接件(503)安装于柱杆(502)上,所述电控伸缩杆(504)安装于安装盘(404)中,且电控伸缩杆(504)的输出端与连接件(503)连接,所述夹持弧板(505)固定安装于柱杆(502)的一端,所述夹持防护垫(506)粘接于夹持弧板(505)上,所述驱动控制器(507)安装于安装盘(404)上,且驱动控制器(507)与三个所述电控伸缩杆(504)配合使用。

4.根据权利要求1所述的一种石英坩埚的夹持工装,其特征在于:所述压持机构(12)包括第三安装座(1201)、液压杆(1202)、第三控制器(1203)、压持板(1204)和压持防护垫(1205),所述第三安装座(1201)固定安装于顶座(11)上,所述液压杆(1202)安装于第三安装座(1201)中,所述第三控制器(1203)安装于第三安装座(1201)上,且第三控制器(1203)与液压杆(1202)配合使用,所述压持板(1204)固定安装于液压杆(1202)的输出端,所述压持防护垫(1205)粘接于压持板(1204)的底部。

5.根据权利要求1所述的一种石英坩埚的夹持工装,其特征在于:所述边缘打磨组件(8)包括第一安装座(801)、第一伺服电缸(802)、第一控制器(803)、第一打磨器(804)和边缘打磨辊(805),所述第一安装座(801)固定安装于第一支撑架(7)上,所述第一伺服电缸(802)安装于第一安装座(801)中,所述第一控制器(803)安装于第一安装座(801)上,所述第一打磨器(804)固定安装于第一伺服电缸(802)的输出端,所述边缘打磨辊(805)固定安装于第一打磨器(804)的输出端。

6.根据权利要求1所述的一种石英坩埚的夹持工装,其特征在于:所述顶部打磨组件(10)包括第二安装座(1001)、第二伺服电缸(1002)、第二控制器(1003)、第二打磨器(1004)和顶部打磨辊(1005),所述第二安装座(1001)固定安装于第二支撑架(9)上,所述第二伺服电缸(1002)安装于第二安装座(1001)中,所述第二伺服电缸(1002)安装于第二安装座(1001)上,所述第二打磨器(1004)固定安装于第二伺服电缸(1002)的输出端,所述顶部打磨辊(1005)固定安装于第二打磨器(1004)的输出端。

7.根据权利要求2所述的一种石英坩埚的夹持工装,其特征在于:所述安装盘(404)的顶部开设有放置槽(19),且放置槽(19)与石英坩埚本体(6)配对使用,所述放置槽(19)的底部设置有防滑纹路(20)。

8.根据权利要求5所述的一种石英坩埚的夹持工装,其特征在于:所述第一支撑架(7)的表面固定连接有第一限位滑杆(15),所述第一限位滑杆(15)的表面滑动连接有第一限位滑块(16),所述第一打磨器(804)的表面固定连接有第一连接杆(13),且第一连接杆(13)的顶端与第一限位滑块(16)的底部固定连接。

9.根据权利要求6所述的一种石英坩埚的夹持工装,其特征在于:所述第二支撑架(9)的表面固定连接有第二限位滑杆(17),所述第二限位滑杆(17)的表面滑动连接有第二限位滑块(18),所述第二打磨器(1004)的表面固定连接有第二连接杆(14),且第二连接杆(14)的顶端与第二限位滑块(18)的底部固定连接。