利索能及
我要发布
收藏
专利号: 202321597139X
申请人: 上海仁晶测量技术有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-04-09
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种显微镜膜厚测量平台,包括工作板(1),其特征在于:所述工作板(1)的正面固定安装有水平仪(2),所述工作板(1)的上表面固定安装有清理箱(3),所述清理箱(3)的底部固定安装有清理刷(4),所述清理刷(4)的一侧固定安装有镊子(5),所述清理箱(3)的一侧固定安装有放置台(6),所述放置台(6)的上表面开设有放置槽(7),所述放置台(6)的另一侧固定安装有伺服电机(8),所述伺服电机(8)的输出端花键连接有传动杆(9),所述传动杆(9)的一端固定安装有螺纹输送杆(10),所述螺纹输送杆(10)的表面通过螺纹孔(11)螺纹连接有螺纹块(12),所述螺纹块(12)的上表面固定安装有移动板(13),所述移动板(13)的上表面固定安装有显微镜本体(14),所述工作板(1)的底部固定安装有连接块(15)。

2.根据权利要求1所述的一种显微镜膜厚测量平台,其特征在于:所述连接块(15)的底部固定安装有电动推杆(16),所述电动推杆(16)的底部固定安装有稳定垫(17)。