1.一种引线键合检测机,其特征在于,包括有机架以及安装于所述机架上的传感器机构和夹具机构,引线键合放置在所述夹具机构上,所述传感器机构对引线键合进行扫描,所述传感器机构包括有支架、横向驱动组件、纵向驱动组件和测量仪,所述横向驱动组件安装于所述支架上,所述横向驱动组件驱动所述纵向驱动组件横向移动,所述纵向驱动组件驱动所述测量仪移动,所述横向驱动组件和所述纵向驱动组件结构相同,所述测量仪为白光干涉同轴3D位移测量仪。
2.根据权利要求1所述的引线键合检测机,其特征在于,所述夹具机构包括有夹具驱动组件、夹具固定组件和夹具结构,所述夹具驱动组件驱动所述夹具固定组件移动,所述夹具结构安装于所述夹具固定组件上。
3.根据权利要求2所述的引线键合检测机,其特征在于,所述夹具固定组件包括有固定基板、压紧结构和抵接结构,所述抵接结构安装于所述固定基板的两侧,所述固定基板上设置有可供所述夹具结构滑动的导槽,所述导槽安装于所述固定基板的一端,所述压紧结构安装于所述固定基板的另一端。
4.根据权利要求3所述的引线键合检测机,其特征在于,所述压紧结构包括有压紧气缸和压紧块,所述压紧气缸驱动所述压紧块移动。
5.根据权利要求3所述的引线键合检测机,其特征在于,所述抵接结构包括有安装座、第一连杆、第二连杆、操作杆和抵接块,所述第一连杆和所述第二连杆分别铰接设置于所述安装座上,所述操作杆分别与所述第一连杆和所述第二连杆铰接设置,所述抵接块安装于所述第二连杆上。
6.根据权利要求4所述的引线键合检测机,其特征在于,所述夹具结构包括有夹具和夹具底板,所述夹具固设于所述夹具底板的上端,引线键合放置于所述夹具中。
7.根据权利要求6所述的引线键合检测机,其特征在于,所述夹具底板上设置有垫块,所述垫块设置于所述夹具底板的一侧。
8.根据权利要求3‑7任一项所述的引线键合检测机,其特征在于,所述夹具机构还包括有导向板,所述导向板与所述固定基板对齐。
9.根据权利要求8所述的引线键合检测机,其特征在于,所述横向驱动组件包括有驱动底座、电机、连接结构、丝杆、连接块、导轨、滑块和螺母,所述导轨和所述丝杆安装于所述驱动底座上,所述电机通过所述连接结构与所述丝杆连接,所述螺母与所述丝杆啮合,所述滑块沿所述导轨移动,所述连接块与所述滑块和所述螺母固设。