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专利号: 2023212789003
申请人: 美若科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2025-09-11
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种金刚石单晶合成基台的稳定升降装置,包括底座(1)、万向轮(2)、合成箱(3)、基台本体(4)、升降柱(5)和升降组件(6),其特征在于:所述升降组件(6)设置在所述升降柱(5)内部且与所述基台本体(4)对应,所述升降组件(6)包括升降电机(7)、升降结构(8)和连接结构(9),所述升降电机(7)和所述升降结构(8)设置在所述升降柱(5)内部,所述连接结构(9)设置在所述合成箱(3)内部且与所述基台本体(4)对应,所述万向轮(2)设置在所述底座(1)底部,所述合成箱(3)设置在所述底座(1)顶部,所述基台本体(4)设置在所述合成箱(3)内部,所述升降柱(5)固定焊接在所述底座(1)顶部且设置在所述合成箱(3)背侧。

2.根据权利要求1所述的一种金刚石单晶合成基台的稳定升降装置,其特征在于:所述升降柱(5)内部开设有升降腔和升降槽,所述升降电机(7)通过螺栓安装在所述升降腔内部,所述升降结构(8)设置在所述升降槽内部。

3.根据权利要求2所述的一种金刚石单晶合成基台的稳定升降装置,其特征在于:所述升降结构(8)包括螺纹杆(10)、螺纹环(11)和螺纹块(12),所述螺纹杆(10)两端分别转动安装在所述升降槽内底壁上和固定焊接在所述升降电机(7)的输出轴上,所述螺纹环(11)螺纹啮合套设在所述螺纹杆(10)上,所述螺纹块(12)固定焊接在所述螺纹环(11)一侧。

4.根据权利要求3所述的一种金刚石单晶合成基台的稳定升降装置,其特征在于:所述连接结构(9)包括L板(13)和密封柱(14),所述L板(13)固定焊接在所述螺纹块(12)一侧,所述密封柱(14)固定焊接在所述L板(13)底部且设置在所述合成箱(3)内部。

5.根据权利要求4所述的一种金刚石单晶合成基台的稳定升降装置,其特征在于:所述合成箱(3)顶部开设有密封调节孔,所述合成箱(3)内顶壁上设置有微波等离子体,所述密封柱(14)设置在所述密封调节孔内部,所述基台本体(4)固定焊接在所述密封柱(14)底端一侧且与所述微波等离子体对应。

6.根据权利要求5所述的一种金刚石单晶合成基台的稳定升降装置,其特征在于:所述合成箱(3)一侧开设有观察窗(15)和开合门(16),所述开合门(16)设置在所述观察窗(15)底部。

7.根据权利要求1所述的一种金刚石单晶合成基台的稳定升降装置,其特征在于:所述底座(1)底部开设有收纳槽,所述收纳槽一侧开设有安全滑槽,所述收纳槽内部设置有稳定组件(17),所述稳定组件(17)包括气缸(18)和稳定结构(19),所述气缸(18)通过螺栓安装在所述收纳槽内顶壁上,所述稳定结构(19)设置在所述收纳槽内部且与所述万向轮(2)对应。

8.根据权利要求7所述的一种金刚石单晶合成基台的稳定升降装置,其特征在于:所述稳定结构(19)包括收纳板(20)和安全滑块(21),所述收纳板(20)固定焊接在所述气缸(18)的输出轴上,所述安全滑块(21)固定焊接在所述收纳板(20)一侧且滑动连接在所述安全滑槽内部,所述万向轮(2)设置在所述收纳板(20)底部且与所述收纳槽对应。