1.一种蚀刻喷淋装置，其特征在于，包括：

转动托盘(4)，所述转动托盘(4)上方贴附有晶圆板(3)，所述转动托盘(4)上方绕晶圆板(3)侧面贴合有阶梯垫块(42)，所述阶梯垫块(42)上端设置有与晶圆板(3)上端面重合的阶梯形软垫(421)，电机(6)，所述电机(6)输出端与转动托盘(4)固定，所述电机(6)输出端外缘处安装有转盘(5)，喷淋头(2)，所述喷淋头(2)通过支杆(11)固定有废水箱(1)，所述电机(6)与废水箱(1)固定安装。

2.根据权利要求1所述的一种蚀刻喷淋装置，其特征在于，所述转动托盘(4)上方边缘处设置有与直径重合的燕尾导块(41)，所述阶梯垫块(42)包括有配合燕尾导块(41)滑动的燕尾槽(422)。

3.根据权利要求2所述的一种蚀刻喷淋装置，其特征在于，所述阶梯垫块(42)底部设置有贯穿转动托盘(4)的立杆(423)，所述燕尾导块(41)中心处开设有配合立杆(423)滑动的直槽(43)。

4.根据权利要求3所述的一种蚀刻喷淋装置，其特征在于，所述转盘(5)上设置有与立杆(423)配合插接的偏心弧形槽(52)。

5.根据权利要求4所述的一种蚀刻喷淋装置，其特征在于，所述转盘(5)中心开口处开设有内螺纹(51)，所述电机(6)输出端设有配合内螺纹(51)旋合的外螺纹(61)。

6.根据权利要求1所述的一种蚀刻喷淋装置，其特征在于，所述喷淋头(2)设置于晶圆板(3)上方，所述喷淋头(2)侧面连通有进水管(21)。