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专利号: 2023210421251
申请人: 苏州赛美达半导体科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2025-08-19
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种防滑脱的夹持固定结构,包括工作台(1)与晶圆柱体(9),所述工作台(1)一侧设置有激光切割组件,其特征在于,所述工作台(1)一侧固定有总支座(2),所述总支座(2)一侧设置有可旋转的三爪卡盘(3),所述工作台(1)上间隔设置有多组夹持组件;

所述夹持组件包括第一支撑环(4)、第二支撑环(5)、滑杆(6)以及弧形板(7),所述第一支撑环(4)表面通过立座(15)安装在所述工作台(1)表面,所述第二支撑环(5)滑动设置在所述第一支撑环(4)内部,所述第一支撑环(4)表面呈周向开设有多组滑槽(8),所述滑槽(8)内部滑动设置有所述滑杆(6),所述滑杆(6)上固定有所述弧形板(7),所述晶圆柱体(9)位于多组所述弧形板(7)之间。

2.根据权利要求1所述的防滑脱的夹持固定结构,其特征在于,所述第二支撑环(5)表面固定有涡状轨道(10),所述滑杆(6)底部间隔固定有若干驱动块(11),所述驱动块(11)位于所述涡状轨道(10)内部。

3.根据权利要求2所述的防滑脱的夹持固定结构,其特征在于,所述第二支撑环(5)底部安装有齿轮(12),所述工作台(1)上固定有气缸(13),所述气缸(13)输出端安装有齿条(14),所述齿条(14)与所述齿轮(12)相啮合。

4.根据权利要求3所述的防滑脱的夹持固定结构,其特征在于,所述激光切割组件包括激光切割机(18),所述工作台(1)表面开设有放置槽(16),所述放置槽(16)内部通过轴承转动设置有螺纹杆(17),所述工作台(1)上方设置有移动座(19),所述移动座(19)底部与所述放置槽(16)滑动连接,且所述移动座(19)与所述螺纹杆(17)螺纹连接,所述移动座(19)上方安装有所述激光切割机(18),所述激光切割机(18)切割端正对于所述晶圆柱体(9)一侧。

5.根据权利要求4所述的防滑脱的夹持固定结构,其特征在于,所述工作台(1)一侧安装有电机(20),所述电机(20)输出端与所述螺纹杆(17)通过联轴器相连接。

6.根据权利要求5所述的防滑脱的夹持固定结构,其特征在于,所述工作台(1)上方放置有收集箱(21),所述收集箱(21)表面设置有保护软垫。