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专利号: 2023208589517
申请人: 上海晶驰炭素有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-08-19
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种坩埚盖板结构,包括坩埚本体(1),所述坩埚本体(1)的两侧外表面固定连接有安装座(2),其特征在于:所述安装座(2)的上端外表面设有用于提高盖合便捷性的气动升降自动盖板装置(3),所述气动升降自动盖板装置(3)包括安装架(4),所述安装架(4)的两侧内表面固定连接有导向滑轨(5),所述导向滑轨(5)的两端均设有限位块(6),所述安装架(4)的上端外表面固定安装有气缸(7),所述气缸(7)的活塞杆的另一端设有连接块(8),所述连接块(8)的下端外表面固定安装有活动座(9),所述活动座(9)的两侧外表面设有连接臂(10),所述连接臂(10)的另一端与导向滑轨(5)之间设有定位滑块(11),所述活动座(9)的下端外表面固定连接有安装臂(12),所述安装臂(12)的另一端设有固定块(13),所述固定块(13)的下端外表面固定安装有密封盖板本体(14),所述密封盖板本体(14)与坩埚本体(1)之间设有用于提高密封性的嵌入式密封结构(15)。

2.根据权利要求1所述的一种坩埚盖板结构,其特征在于:所述安装架(4)与安装座(2)的上端外表面固定连接,所述气缸(7)与安装架(4)的上端外表面固定连接,所述气缸(7)的活塞杆贯穿安装架(4)的上端内表面中部,所述活动座(9)通过连接块(8)与气缸(7)的活塞杆的另一端固定连接,所述连接臂(10)的一端与活动座(9)的两侧外表面固定连接,所述定位滑块(11)与连接臂(10)的另一端固定连接,且所述定位滑块(11)与导向滑轨(5)滑动连接,所述安装臂(12)与活动座(9)的下端外表面固定连接,所述密封盖板本体(14)通过固定块(13)与安装臂(12)的另一端固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种坩埚盖板结构,其特征在于:所述活动座(9)通过气缸(7)的活塞杆与安装架(4)活动连接,所述活动座(9)通过定位滑块(11)和导向滑轨(5)与安装架(4)的两侧内表面滑动连接,所述密封盖板本体(14)通过气缸(7)的活塞杆与坩埚本体(1)的上端内表面活动连接。

4.根据权利要求1所述的一种坩埚盖板结构,其特征在于:所述嵌入式密封结构(15)包括嵌入卡块(16)和卡槽(17),所述嵌入卡块(16)与密封盖板本体(14)之间设有安装板(18),所述嵌入卡块(16)的外表面设有橡胶圈(19),所述卡槽(17)的内表面设有橡胶垫片(20)。

5.根据权利要求4所述的一种坩埚盖板结构,其特征在于:所述嵌入卡块(16)和卡槽(17)的数量均为两组,所述嵌入卡块(16)通过安装板(18)与密封盖板本体(14)的两侧外表面固定连接,所述卡槽(17)与坩埚本体(1)的两侧内表面固定连接,所述橡胶圈(19)与嵌入卡块(16)的外表面相连接,所述橡胶垫片(20)与卡槽(17)的内表面相连接。

6.根据权利要求5所述的一种坩埚盖板结构,其特征在于:所述嵌入卡块(16)与卡槽(17)活动连接,所述橡胶圈(19)与橡胶垫片(20)活动连接,且所述密封盖板本体(14)通过嵌入式密封结构(15)与坩埚本体(1)的上端内表面可拆卸连接。