1.一种去除晶圆表面瑕疵的抛光机,包括工作台(1),其特征在于:所述工作台(1)的顶部焊接安装有连接支架(2),工作台(1)的上方设置有顶板(3),连接支架(2)的自由端和顶板(3)固定连接,工作台(1)上设置有固定组件(4),顶板(3)的顶部固定安装有液压缸(5),顶板(3)的下方设置有壳体(6),壳体(6)的内部固定安装有驱动电机,壳体(6)的底部通过转轴连接有抛光盘(7),驱动电机的输出轴和抛光盘(7)固定连接,顶板(3)的下方设置有处理组件(8)。
2.根据权利要求1所述的一种去除晶圆表面瑕疵的抛光机,其特征在于:所述固定组件(4)包括双向丝杆(401)、第一齿轮(402)、安装板(403)、转杆(404)、第二齿轮(405)、外壳(406)、电机(407)、滑块(408)和夹持弧板(409),工作台(1)的内部开设有滑槽,滑槽内转动安装有双向丝杆(401),双向丝杆(401)上焊接安装有第一齿轮(402),工作台(1)的顶部焊接安装有安装板(403),外壳(406)的顶部固定安装有电机(407),安装板(403)的底部转动安装有转杆(404),电机(407)的输出轴通过联轴器和转杆(404)固定连接,转杆(404)的自由端焊接安装有第二齿轮(405),第二齿轮(405)和第一齿轮(402)为啮合设置,双向丝杆(401)上螺纹连接有两组滑块(408),两组滑块(408)的底部均固定安装有夹持弧板(409)。
3.根据权利要求2所述的一种去除晶圆表面瑕疵的抛光机,其特征在于:所述安装板(403)的顶部固定安装有外壳(406),电机(407)位于外壳(406)的内部。
4.根据权利要求3所述的一种去除晶圆表面瑕疵的抛光机,其特征在于:所述外壳(406)上开设有散热孔。
5.根据权利要求1所述的一种去除晶圆表面瑕疵的抛光机,其特征在于:所述处理组件(8)包括连接座(801)、连通管(802)、软管(803)、安装管(804)和喷头(805),壳体(6)的后侧固定安装有连接座(801),连接座(801)的内部固定安装有连通管(802),连接座(801)的底部固定连接有安装管(804),安装管(804)和连通管(802)固定连通,连通管(802)的顶部法兰连通有软管(803),安装管(804)的外壁法兰连接有喷头(805)。
6.根据权利要求5所述的一种去除晶圆表面瑕疵的抛光机,其特征在于:所述喷头(805)为多组设置,喷头(805)为雾化喷头。