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专利号: 2023206382659
申请人: 有为半导体技术(广东)有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-05-14
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种多轴同步输送结构,其特征在于,包括:上膜材输送装置、下膜材输送装置、夹板输送装置、输送带输送装置和离合器装置;

所述输送带输送装置包括若干输送带单元,用于基板输送;

所述上膜材输送装置设于所述输送带输送装置上方,用于上膜材的输送;

所述下膜材输送装置设于所述输送带输送装置下方,用于下膜材的输送;

所述夹板输送装置设于所述输送带输送装置上方且位于所述上膜材输送装置下方,用于夹持、输送基板;

所述离合器装置包括若干电磁离合器,用于所述上膜材输送装置、下膜材输送装置、夹板输送装置、输送带输送装置的动力的接合与分离。

2.根据权利要求1所述的多轴同步输送结构,其特征在于,所述上膜材输送装置包括:上导膜辊和用于驱动所述上导膜辊的上减速电机组件。

3.根据权利要求1所述的多轴同步输送结构,其特征在于,所述下膜材输送装置包括:下导膜辊和用于驱动所述下导膜辊的下减速电机组件。

4.根据权利要求1所述的多轴同步输送结构,其特征在于,所述输送带输送装置还包括:输送带减速电机组件、输送带传动组件和同步涨紧组件。

5.根据权利要求1所述的多轴同步输送结构,其特征在于,所述夹板输送装置包括:用于夹持的夹板组件和用于输送所述夹板组件的夹板输送组件。

6.根据权利要求1至5任一项所述的多轴同步输送结构,其特征在于,所述离合器装置还包括:若干同步轮、齿轮和同步带,通过所述同步轮、齿轮、同步带和电磁离合器连接所述上膜材输送装置、下膜材输送装置、夹板输送装置、输送带输送装置。