1.一种MPCVD设备用控温装置,其特征在于:包括MPCVD设备本体(1),所述MPCVD设备本体(1)底部的外侧壁上固定安装有支腿(2),所述MPCVD设备本体(1)的一侧设置有控温组件(3),所述控温组件(3)包括制冷水箱(301)、输出泵(302)、外壳(303)、制冷板(304)、散热翅片(305)、导流管(306)、支撑弹簧(307)、传动板(308)、固定电极(309)、移动电极(3010)和警示灯(3011),所述导流管(306)的一端穿设在所述MPCVD设备本体(1)内,所述外壳(303)固定安装在所述导流管(306)的另一端上,所述支撑弹簧(307)的一端固定安装在所述外壳(303)底部的内侧壁上,所述制冷水箱(301)的一端固定安装在所述支撑弹簧(307)的一端,所述制冷板(304)的一端固定安装在所述制冷水箱(301)的内侧壁上。
2.根据权利要求1所述的一种MPCVD设备用控温装置,其特征在于:所述散热翅片(305)的一端固定安装在所述制冷板(304)的外侧壁上,所述传动板(308)的一端固定安装在所述制冷水箱(301)底部的外侧壁上。
3.根据权利要求1所述的一种MPCVD设备用控温装置,其特征在于:所述移动电极
(3010)固定安装在所述传动板(308)的一端,所述固定电极(309)固定安装在所述外壳(303)的内侧壁上,所述警示灯(3011)固定安装在所述外壳(303)的外侧壁上。
4.根据权利要求1所述的一种MPCVD设备用控温装置,其特征在于:所述输出泵(302)固定安装在所述外壳(303)的一侧,所述导流管(306)的一端套设在所述输出泵(302)的输出端上,所述输出泵(302)的输入端穿设在制冷水箱(301)内。
5.根据权利要求1所述的一种MPCVD设备用控温装置,其特征在于:所述MPCVD设备本体(1)内设置有基片台(4),所述基片台(4)的一端固定安装在所述导流管(306)上。
6.根据权利要求1所述的一种MPCVD设备用控温装置,其特征在于:所述外壳(303)的顶部设置有辅助组件(5),所述辅助组件(5)包括电机箱(501)、输出电机(502)、粉碎杆(503)、下料嘴(504)和粉碎箱(505)。
7.根据权利要求6所述的一种MPCVD设备用控温装置,其特征在于:所述外壳(303)的顶部设置有安装孔,所述粉碎箱(505)的一端固定安装在所述安装孔的内侧壁上,所述电机箱(501)的一端固定安装在所述粉碎箱(505)的另一端上。
8.根据权利要求6所述的一种MPCVD设备用控温装置,其特征在于:所述输出电机(502)固定安装在所述电机箱(501)的内侧壁上,所述粉碎杆(503)的一端转动安装在所述粉碎箱(505)的内侧壁上,所述输出电机(502)的输出轴固定安装在所述粉碎杆(503)的另一端上。