1.一种用于精密蚀刻设备的真空吸刀,包括真空虹吸刀(1)、安装耳(3)和安装座(5),其特征在于,还包括六角插栓(7)和拉力弹簧(8),所述真空虹吸刀(1)底部一侧等距离开设有吸缝(2),所述真空虹吸刀(1)一端设置有与之一体的安装耳(3),所述安装耳(3)一端开设有六角插孔(4),所述真空虹吸刀(1)一端配备有安装座(5),所述安装座(5)顶部两端分别开设有与安装耳(3)对应的插槽(6),所述安装座(5)两端分别插设有与六角插孔(4)对应的六角插栓(7),所述六角插栓(7)上套设有拉力弹簧(8),所述拉力弹簧(8)两端分别与六角插栓(7)和安装座(5)焊接连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于精密蚀刻设备的真空吸刀,其特征在于:所述真空虹吸刀(1)另一侧设置有用于排液的螺纹接头(10),所述螺纹接头(10)上螺纹连接有内螺纹帽(11),所述内螺纹帽(11)顶部连接有排液管(12),所述排液管(12)端部设置有挡片(13),所述挡片(13)位于内螺纹帽(11)内,所述挡片(13)底部胶合有垫圈(14)。
3.根据权利要求2所述的一种用于精密蚀刻设备的真空吸刀,其特征在于:所述挡片(13)的直径大于螺纹接头(10)的直径。
4.根据权利要求1所述的一种用于精密蚀刻设备的真空吸刀,其特征在于:所述安装座(5)一侧设置有与之一体的安装板(9),所述安装板(9)外围等距离开设有安装孔。