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专利号: 2023201892104
申请人: 青岛华庆鑫悦科技发展有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-05-14
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种用于真空离子镀膜机的循环冷却水系统,其特征在于,包括:

支撑底座(10);

承装结构(20),所述承装结构(20)安装于支撑底座(10)上表面,且所述承装结构(20)用于承装冷却水;

第一连接结构(30),所述第一连接结构(30)安装于承装结构(20)上,且所述第一连接结构(30)用于连接真空离子镀膜机;

冷却结构(40),所述冷却结构(40)安装于支撑底座(10)上表面,且所述冷却结构(40)用于冷却;

第一传送结构(50),所述第一传送结构(50)安装于冷却结构(40)与承装结构(20)之间,且所述第一传送结构(50)用于将水从承装结构(20)内送入到冷却结构(40)内;

温度感知结构(60),所述温度感知结构(60)安装于冷却结构(40)内,且所述温度感知结构(60)用于感知温度;

回流结构(70),所述回流结构(70)安装于冷却结构(40)上,且所述回流结构(70)用于回流;

排出结构(80),所述排出结构(80)安装于冷却结构(40)上,且所述排出结构(80)用于与真空离子镀膜机相连接。

2.如权利要求1所述的一种用于真空离子镀膜机的循环冷却水系统,其特征在于,所述承装结构(20)包括:承载水箱(21)、进水管(22)、第一电控阀门(23)、出水管(24)以及第二电控阀门(25);

所述承载水箱(21)安装于支撑底座(10)上表面,所述进水管(22)安装于承载水箱(21)上,所述第一电控阀门(23)安装于进水管(22)上,所述出水管(24)安装于承载水箱(21)上,所述第二电控阀门(25)安装于出水管(24)上。

3.如权利要求2所述的一种用于真空离子镀膜机的循环冷却水系统,其特征在于,所述第一连接结构(30)包括:进入连接管(31)以及第三电控阀门(32);

所述进入连接管(31)安装于承载水箱(21)上,所述第三电控阀门(32)安装于进入连接管(31)上。

4.如权利要求2所述的一种用于真空离子镀膜机的循环冷却水系统,其特征在于,所述冷却结构(40)包括:承载箱体(41)、螺旋管(42)、一对第一固定架(43)以及一对冷却机(44);

所述承载箱体(41)安装于支撑底座(10)上表面,所述螺旋管(42)安装于承载箱体(41)内,所述承载箱体(41)上设有一对矩形开口,每个所述第一固定架(43)安装于相对应的矩形开口处,每个所述冷却机(44)安装于相对应的第一固定架(43)上。

5.如权利要求4所述的一种用于真空离子镀膜机的循环冷却水系统,其特征在于,所述第一传送结构(50)包括:第二固定架(51)、传送泵体(52)以及传送管路(53);

所述第二固定架(51)安装于承载水箱(21)上,所述传送泵体(52)安装于第二固定架(51)上,所述传送泵体(52)与承载水箱(21)相连接,所述传送管路(53)安装于传送泵体(52)上,且所述传送管路(53)另一端与螺旋管(42)相连接。

6.如权利要求4所述的一种用于真空离子镀膜机的循环冷却水系统,其特征在于,所述温度感知结构(60)包括:温度感知器(61)以及第一传送管(62);

所述第一传送管(62)安装于螺旋管(42)上,所述温度感知器(61)安装于第一传送管(62)上。

7.如权利要求6所述的一种用于真空离子镀膜机的循环冷却水系统,其特征在于,所述回流结构(70)包括:回流泵(71)以及回流管(72);

所述回流泵(71)安装于第一传送管(62)上,所述回流管(72)安装于回流泵(71)上,且所述回流管(72)与螺旋管(42)上端相连接。

8.如权利要求6所述的一种用于真空离子镀膜机的循环冷却水系统,其特征在于,所述排出结构(80)包括:排出连接管(81)以及排出连接阀(82);

所述排出连接管(81)安装于第一传送管(62)上,所述排出连接阀(82)安装于排出连接管(81)上。

9.如权利要求1所述的一种用于真空离子镀膜机的循环冷却水系统,其特征在于,所述支撑底座(10)上设有控制器(90),所述支撑底座(10)上设有市电接口(100)。