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专利号: 2023200869011
申请人: 江苏瑞博光电科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-05-14
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种精确扩晶高度治具,其特征在于,包括:

底座(1),所述底座(1)的顶面固定安装有支撑板(2),所述支撑板(2)的一侧固定安装有连接板(3),所述连接板(3)的顶面开设有若干个固定孔(4),所述固定孔(4)的内圆壁面固定套设有第一电动推杆(5);

按压组件,所述按压组件设置在所述底座(1)的上方,用于对晶圆进行扩晶操作。

2.根据权利要求1所述的一种精确扩晶高度治具,其特征在于,所述按压组件包括:

按压板(6),所述按压板(6)固定安装在所述第一电动推杆(5)伸缩杆的底端,所述按压板(6)的顶面开设有通孔(7),所述连接板(3)的顶面开设有限位孔(8),所述限位孔(8)与所述通孔(7)相对应,所述限位孔(8)的内圆壁面固定套设有气缸(9),所述气缸(9)的一端固定安装有按压盘(10),所述按压盘(10)与所述通孔(7)活动套设。

3.根据权利要求2所述的一种精确扩晶高度治具,其特征在于,所述按压组件还包括:

放置盘(11),所述放置盘(11)设置在所述底座(1)的顶面,所述底座(1)的顶面开设有限位槽(12),所述限位槽(12)与所述通孔(7)相对应,所述限位槽(12)与所述放置盘(11)活动套设。

4.根据权利要求3所述的一种精确扩晶高度治具,其特征在于,所述放置盘(11)的顶端固定安装有固定盘(13),所述限位槽(12)的内部底面开设有固定槽(14)。

5.根据权利要求4所述的一种精确扩晶高度治具,其特征在于,所述固定槽(14)的内圆壁面固定套设有第二电动推杆(15),所述第二电动推杆(15)伸缩杆的顶端与所述放置盘(11)的底端固定安装。

6.根据权利要求1所述的一种精确扩晶高度治具,其特征在于,所述底座(1)的顶面固定安装有两个固定块(16),所述固定块(16)的一侧固定安装有第三电动推杆(17),所述第三电动推杆(17)伸缩杆的一端固定安装有切割环(18)。