1.一种蓝光激光增强磨粒流复合电化学抛光Inconel 718合金的装置,其特征在于,所述装置包括:蓝光激光器、直流电解电源、阴极夹具、阳极夹具、电解液槽、反应槽、工件支撑台、二维快速运动滑台;
阳极夹具设于工件支撑台上用于固定工件,工件支撑台固定于反应槽中,反应槽下部设有出水管与电解液槽连通,反应槽置于二维快速运动滑台上方,二维快速运动滑台由编程控制;
阴极夹具上方连接进水管,下方安装有电极管,左右两侧分别连接导液管I、导液管II;
进水管与电解液槽连通,由电解液槽中的水泵提供动力以导入电解液;电极管喷射出电解液,同时磨粒也随着电解液到达工件表面;导液管I和导液管II各自安装有阀门以实现调控电解液的流速;调整蓝光激光器,使光斑直射至喷出的电解液和工件的交界处;同时启动蓝光激光器和直流电解电源,并开启二维快速运动滑台,对工件进行复合抛光;所述电解液为磨粒复合电化学抛光液,组成如下:硝酸钠30g/L、氯化铵55g/L、磨粒10g/L,溶剂为去离子水;
直流电解电源与阴极夹具、阳极夹具连接。
2.如权利要求1所述的蓝光激光增强磨粒流复合电化学抛光Inconel 718合金的装置,其特征在于,阴极夹具固定于绝缘板上,绝缘板固定于龙门架上,龙门架可以实现z轴方向的滑动以调节电极管与工件的距离。
3.如权利要求1所述的蓝光激光增强磨粒流复合电化学抛光Inconel 718合金的装置,其特征在于,阴极夹具和电极管为不锈钢材质。
4.如权利要求1所述的蓝光激光增强磨粒流复合电化学抛光Inconel 718合金的装置,其特征在于,电极管直径为0.4 mm。
5.如权利要求1所述的蓝光激光增强磨粒流复合电化学抛光Inconel 718合金的装置,其特征在于,蓝光激光器的光斑直径为0.4 mm。
6.利用权利要求1所述装置进行蓝光激光增强磨粒复合电化学抛光Inconel 718合金的方法,其特征在于,包括如下步骤:(1)将Inconel 718合金进行切割,打磨,清洗,烘干,得到待抛光试样;
(2)配制磨粒复合电化学抛光液:硝酸钠30g/L、氯化铵55g/L、磨粒10g/L,溶剂为去离子水;
(3)将待抛光试样用阳极夹具固定,阳极夹具连接直流电解电源的阳极,阴极夹具连接直流电解电源的阴极,将磨粒复合电化学抛光液加入电解液槽中,启动水泵,磨粒复合电化学抛光液从阴极夹具下方的电极管流出,喷射于待抛光试样表面;调整激光器,使光斑直射至喷出的磨粒复合电化学抛光液和待抛光试样的交界处;同时启动激光器和直流电解电源,并开启二维快速运动滑台,对试样进行复合抛光;抛光后试样表面用酒精清洗并烘干;
电化学工艺参数为:直流电解电源,电流范围1‑5A、频率1000‑2000Hz;
电极管口到试样表面的距离在5‑10mm;磨粒复合电化学抛光液的流速控制在30 65m/~s;
激光器的工艺参数为:蓝光激光器为脉冲激光器,光斑直径0.4mm,激光功率50‑100W,焦距100mm;
二维快速运动滑台由编程控制,速度在100‑600mm/s之间。
7.如权利要求6所述的方法,其特征在于,步骤(2)中,磨粒为1100目的氧化铝粉末颗粒。