1.一种结构复原方法，其特征在于，该结构复原方法采用微结构的干涉衍射测量装置，该装置包括相干光源、偏振片、扩束准直系统、第一分束棱镜、衰减片、第一反射镜、微结构产生装置、第二双凸透镜、第二分束棱镜和CCD，由相干光源发出的光经过偏振片和扩束准直系统后，再经过第一分束棱镜分为两路光，一路通过衰减片后被第一反射镜反射形成参考光，另一路到达微结构产生装置形成衍射光，衍射光经过第二双凸透镜后，与参考光在第二分束棱镜合束后发生干涉，第二双凸透镜的像方焦平面经过第二分束棱镜后发生平移，将CCD感光面放置在平移后的像面上；结构复原方法包括以下步骤：S1、利用CCD分别采集尺寸已知的标准微结构A0(x1,y1)和待测复杂微结构A(x1,y1)的衍射图样以及衍射光和参考光的干涉图样；

S2、从标准微结构A0(x1,y1)的衍射图样获取其衍射光的振幅S3、从标准微结构的干涉图样中获取其衍射光的相位

S4、计算标准微结构的傅里叶变换FT{A0(x1,y1)}；

S5、计算指数相位因子C(x,y)；

S6、从待测微结构A(x1,y1)的衍射图样中获取其衍射光的振幅S7、从待测微结构的干涉图样中获取其衍射光的相位

S8、对待测微结构的衍射复振幅与指数相位因子的比 进行逆傅里叶变换实现对待测微结构的复原。

2.根据权利要求1所述的结构复原方法，其特征在于，所述微结构产生装置采用振幅或相位调制器，包括反射型振幅或相位调制器和透射型振幅或相位调制器。

3.根据权利要求2所述的结构复原方法，其特征在于，所述微结构产生装置采用反射型振幅或相位调制器时，在微结构产生装置前方的光路上放置第三反射镜和第二反射镜。

4.根据权利要求1所述的结构复原方法，其特征在于，所述第二双凸透镜将衍射图样成像在透镜像方焦平面上。

5.根据权利要求4所述的结构复原方法，其特征在于，所述第二分束棱镜导致衍射图样的像面发生平移，平移量Δl与第二分束棱镜的折射率n和厚度d有关，即Δl＝d(1‑1/n)。

6.根据权利要求1所述的结构复原方法，其特征在于，所述参考光的光强通过调节衰减片降低。

7.根据权利要求1所述的结构复原方法，其特征在于，所述S4的计算过程中采用的微结构图片与干涉或衍射图样具有相同的分辨率，且微结构的傅里叶变换结果和衍射图样在横纵方向上的配准误差均小于1个像素。

8.根据权利要求1所述的结构复原方法，其特征在于，所述指数相位因子其中，λ为激光波长，f为双凸透镜的焦距。

9.根据权利要求1所述的结构复原方法，其特征在于，所述标准微结构的衍射光相位的获取方式如下：对标准微结构的干涉图样进行逆傅里叶变换，得到空间分离的标准微结构和参考光的自相关函数和两者的互相关函数 或 对傅里叶变换得到 其相位是两路光的相位差

当参考光垂直入射CCD感光面时，其相位

近似为常数 此时，标准微结构衍射光的相位为

所述待测微结构A(x1,y1)衍射光的相位