1.一种甩胶温度控制方法,其特征在于,包括如下步骤:
采集光掩膜基板进行甩胶时的甩胶温度数据,进而确定甩胶温度时序数据,对所述甩胶温度时序数据进行差错删除,得到无差甩胶温度时序数据;
对所述无差甩胶温度时序数据进行缺失填补,进而确定完备甩胶温度时序数据,将所述完备甩胶温度时序数据矩阵化,得到甩胶温度数据矩阵;
根据所述甩胶温度数据矩阵确定甩胶温度协方差矩阵,通过所述甩胶温度协方差矩阵确定初始甩胶温度特征矩阵;
根据所述初始甩胶温度特征矩阵确定甩胶温度差错因子,通过所述甩胶温度差错因子确定甩胶温度特征矩阵;
根据所述甩胶温度特征矩阵和所述完备甩胶温度时序数据确定低维甩胶温度时序数据,根据所述低维甩胶温度时序数据和感光胶材料参数进行感光胶温度预测,得到感光胶温度预测值;
将所述感光胶温度预测值与预设甩胶温度区间进行比较,根据比较结果对感光胶温度进行控制;
其中,根据所述初始甩胶温度特征矩阵确定甩胶温度差错因子具体包括:确定初始甩胶温度特征矩阵中初始甩胶温度特征的数量;
确定每个初始甩胶温度特征在甩胶温度数据矩阵中对应的甩胶温度数据;
根据所述初始甩胶温度特征的数量和所述每个初始甩胶温度特征在甩胶温度数据矩阵中对应的甩胶温度数据确定甩胶温度差错因子,其中,所述甩胶温度差错因子根据下述公式确定:其中, 表示甩胶温度差错因子, 表示初始甩胶温度特征矩阵中的初始甩胶温度特征数量, 表示初始甩胶温度特征矩阵中的第 个初始甩胶温度特征, 表示初始甩胶温度特征 在甩胶温度数据矩阵中对应的甩胶温度数据;
其中,通过所述甩胶温度差错因子确定甩胶温度特征矩阵具体包括:当所述甩胶温度差错因子值大于预设差错值时,改变预设的甩胶温度特征维数;
根据改变后的预设的甩胶温度特征维数来重新选择甩胶温度特征向量以构建甩胶温度特征矩阵;
确定该甩胶温度特征矩阵对应的甩胶温度差错因子值;
重复上述步骤,直到该甩胶温度特征矩阵对应的甩胶温度差错因子值小于预设差错值,则得到甩胶温度特征矩阵;
其中,根据所述甩胶温度特征矩阵和所述完备甩胶温度时序数据确定低维甩胶温度时序数据,其中,所述低维甩胶温度时序数据根据下述公式确定:其中, 表示低维甩胶温度时序数据, 表示甩胶温度特征矩阵, 表示转置操作,表示完备甩胶温度时序数据;
其中,根据所述低维甩胶温度时序数据和感光胶材料参数进行感光胶温度预测,得到感光胶温度预测值具体包括:根据低维甩胶温度时序数据确定当前感光胶温度和当前甩胶环境温度;
获取感光胶材料参数,所述感光胶材料参数包括感光胶材料密度、感光胶比热容、感光胶厚度、感光胶导热系数和感光胶热通量;
确定低维甩胶温度时序数据中数据点之间的时间间隔;
通过所述当前感光胶温度、所述当前甩胶环境温度、所述感光胶材料参数和所述低维甩胶温度时序数据中数据点之间的时间间隔确定感光胶温度预测值,其中,所述感光胶温度预测值根据下述公式确定:其中, 表示感光胶温度预测值,表示当前时刻, 表示下一时刻, 表示当前感光胶温度, 表示当前甩胶环境温度, 表示感光胶材料密度, 表示感光胶比热容, 表示感光胶厚度, 表示感光胶导热系数, 表示感光胶热通量,表示低维甩胶温度时序数据中数据点之间的时间间隔。
2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述甩胶温度数据包括感光胶温度数据和甩胶环境温度数据;
所述采集光掩膜基板进行甩胶时的甩胶温度数据,进而确定甩胶温度时序数据具体包括:将感光胶温度数据按照时间顺序排列,得到感光胶温度时序数据;
将甩胶环境温度数据按照时间顺序排列,得到甩胶环境温度时序数据;
将所述感光胶温度时序数据和所述甩胶环境温度时序数据进行时序融合,得到甩胶温度时序数据。
3.如权利要求1所述的方法,其特征在于,对所述甩胶温度时序数据进行差错删除,得到无差甩胶温度时序数据具体包括:确定甩胶温度时序数据中的重复数据;
确定甩胶温度时序数据中的异常数据;
在所述甩胶温度时序数据中将所述重复数据和所述异常数据删除,得到无差甩胶温度时序数据。
4.如权利要求1所述的方法,其特征在于,对所述无差甩胶温度时序数据进行缺失填补,进而确定完备甩胶温度时序数据具体包括:确定无差甩胶温度时序数据中的缺失甩胶温度数据点,进而确定所述缺失甩胶温度数据点对应的甩胶丢失时间点;
获取无差甩胶温度时序数据中每个已知无差甩胶温度数据点的取值;
确定每个已知无差甩胶温度数据点对应的甩胶时间点;
根据所述缺失甩胶温度数据点对应的甩胶丢失时间点、所述每个已知无差甩胶温度数据点的取值和对应的甩胶时间点确定所述缺失甩胶温度数据点的甩胶温度填补值,其中,所述甩胶温度填补值根据下述公式确定:其中, 表示缺失甩胶温度数据点的甩胶温度填补值,表示缺失甩胶温度数据点对应的甩胶丢失时间点, 表示无差甩胶温度时序数据中第 个已知无差甩胶温度数据点的取值, 表示无差甩胶温度时序数据中已知无差甩胶温度数据点的数量, 表示无差甩胶温度时序数据中第 个已知无差甩胶温度数据点对应的甩胶时间点, 表示无差甩胶温度时序数据中第 个已知无差甩胶温度数据点对应的甩胶时间点。
5.如权利要求1所述的方法,其特征在于,通过所述甩胶温度协方差矩阵确定初始甩胶温度特征矩阵具体包括:对甩胶温度协方差矩阵进行特征分解,得到甩胶温度特征值和甩胶温度特征向量;
按照每个甩胶温度特征向量对应的甩胶温度特征值大小进行降序排序,得到甩胶温度特征向量序列;
根据预设的甩胶温度特征维数选择甩胶温度特征向量;
通过选择的甩胶温度特征向量构成初始甩胶温度特征矩阵。
6.如权利要求1所述的方法,其特征在于,将所述感光胶温度预测值与预设甩胶温度区间进行比较,根据比较结果对感光胶温度进行控制具体包括:当感光胶温度预测值超过预设甩胶温度区间上限时,向甩胶冷却系统发送甩胶冷却控制信号,通过所述甩胶冷却控制信号激活所述甩胶冷却系统将感光胶温度降低到所述预设甩胶温度区间内;
当感光胶温度预测值低于预设甩胶温度区间下限时,向甩胶加热系统发送甩胶加热控制信号,通过所述甩胶加热控制信号激活所述甩胶加热系统将感光胶温度提高到所述预设甩胶温度区间内。
7.一种甩胶温度控制系统,其采用权利要求1 的方法进行控制,其特征在于,该甩胶温度控制系统包括有感光胶温度预测单元,所述感光胶温度预测单元包括:无差甩胶温度时序数据确定模块,用于采集光掩膜基板进行甩胶时的甩胶温度数据,进而确定甩胶温度时序数据,对所述甩胶温度时序数据进行差错删除,得到无差甩胶温度时序数据;
甩胶温度数据矩阵确定模块,用于对所述无差甩胶温度时序数据进行缺失填补,进而确定完备甩胶温度时序数据,将所述完备甩胶温度时序数据矩阵化,得到甩胶温度数据矩阵;
初始甩胶温度特征矩阵确定模块,用于根据所述甩胶温度数据矩阵确定甩胶温度协方差矩阵,通过所述甩胶温度协方差矩阵确定初始甩胶温度特征矩阵;
甩胶温度特征矩阵确定模块,用于根据所述初始甩胶温度特征矩阵确定甩胶温度差错因子,通过所述甩胶温度差错因子确定甩胶温度特征矩阵;
感光胶温度预测模块,用于根据所述甩胶温度特征矩阵和所述完备甩胶温度时序数据确定低维甩胶温度时序数据,根据所述低维甩胶温度时序数据和感光胶材料参数进行感光胶温度预测,得到感光胶温度预测值;
感光胶温度控制模块,用于将所述感光胶温度预测值与预设甩胶温度区间进行比较,根据比较结果对感光胶温度进行控制。
8.一种甩胶机,其特征在于,包括有权利要求7所述的甩胶温度控制系统。
9.一种计算机可读存储介质,所述计算机可读存储介质中存储有指令或代码,当指令或代码在计算机上运行时,使得计算机执行时实现如权利要求1至6任一项所述的甩胶温度控制方法。