1.一种准分子放电光源的设计方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

S100，获取准分子灯的三维模型；

S200，将三维模型导入热应力分析软件，以三维模型作为待分析模型；

S300，对待分析模型划分热应力网格获取灯具内部的散热鳍片区域热应力分布图；

S400，将热应力分布图灰度化，依次计算各个散热鳍片区域的热变性适度值；其中，将热应力分布图灰度化，依次计算各个散热鳍片区域的热变性适度值的步骤为：S401，在热应力分布图中划分出散热鳍片区域；S402，计算散热鳍片区域的热变性适度值；

S500，依次遍历各个散热鳍片区域，得到待分析模型的最大热变性适度值；

S600，将待分析模型中的各个热变性适度值小于最大热变性适度值的散热鳍片的区域的厚度进行调整，使所有散热鳍片的区域的热变性适度值大于等于最大热变性适度值，获得调整后的三维模型；

在步骤S600中，具体包括：记待分析模型中的各个热变性适度值小于最大热变性适度值的散热鳍片的区域为待调整的散热鳍片的区域；取待调整的散热鳍片的区域的中所有有限元网格的平均厚度值记为原始平均厚度值；计算待调整的散热鳍片的区域的需要调整的厚度差值；根据需要调整的厚度差值调整待调整的散热鳍片的区域的厚度，获取调整后的三维模型；

其中，计算待调整的散热鳍片的区域的需要调整的厚度差值的方法为：将各个散热鳍片区域的热变适度值构成一个序列作为写入序列RXList1；依次分别计算RXList1中热变适度值与最大热变适度值两两之间的比值，则需要调整的厚度差值为散热鳍片的区域的原始平均厚度值乘F，其中F为1减去对应热变适度值与最大热变适度值两两之间的比值后的绝对值。

2.根据权利要求1所述的一种准分子放电光源的设计方法，其特征在于，所述获取准分子灯的三维模型通过Blender软件、MAYA软件、3ds max软件中任意一种三维建模软件对准分子灯进行三维建模获得的三维模型。

3.根据权利要求2所述的一种准分子放电光源的设计方法，其特征在于，所述准分子放电灯采用同轴双层石英套管结构，所述同轴双层石英套管结构包括内管和外管和两者之间形成密闭的电离放电腔室，外管包括第一曲面和第二曲面；第一曲面为出光面，第二曲面为不出光的反射面，其中在不出光的反射面设置有多个用于散热的鳍片。

4.根据权利要求2所述的一种准分子放电光源的设计方法，其特征在于，所述准分子灯采用平面型结构和扁平灯管，材质为石英玻璃。

5.根据权利要求1所述的一种准分子放电光源的设计方法，其特征在于，所述待分析模型划分热应力网格获取灯具内部的散热鳍片区域热应力分布图的方法为，将待分析模型上的材料添加对应材料的热膨胀系数、参考温度、线弹性参数、导热系数属性；使用扫掠划分法将待分析模型划分出六面体网格；添加边界条件；计算待分析模型的热应力，获取带有热应力分布的待分析模型；通过任意拉格朗日—欧拉法对分析模型进行结构网格重构，获取带有热应力分布的待分析模型重构后的网格集合的热应力值，得到热应力分布图。

6.一种准分子放电光源的设计系统，其特征在于，所述一种准分子放电光源的设计系统包括：处理器、存储器及存储在所述存储器中并在所述处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现权利要求1到5中的任意一项所述的一种准分子放电光源的设计方法中的步骤，所述一种准分子放电光源的设计系统运行于桌上型计算机、笔记本电脑、掌上电脑或云端数据中心中。