1.一种定位精准的晶圆传送装置,包括底座(1)和固接于底座(1)侧壁的第一电机(2),其特征在于:所述底座(1)一侧设有放置台(3),且放置台(3)顶端放置有晶圆本体(4),所述底座(1)内转动设置有固接于第一电机(2)输出端的第一齿轮(11),所述底座(1)内转动设置有连杆(5),所述连杆(5)位于底座(1)内的一端外壁固接有与第一齿轮(11)啮合连接的另一个第一齿轮(11),所述连杆(5)另一端固接有固定架(6),所述固定架(6)内固接有第二电机(7),所述第二电机(7)输出端固接有第一气泵(8),所述第一气泵(8)底端连接有推杆(9),所述推杆(9)底端设有夹持机构(10);
所述夹持机构(10)包括固接于推杆(9)底端的固定块(101),所述固定块(101)顶端固接有第二气泵(102),所述夹持机构(10)下表面开设有圆槽(103),所述第二气泵(102)底端位于固定块(101)内活动插接有推柱(105),所述推柱(105)底端固接有滑动设置于固定块(101)内的移动架(106),所述移动架(106)底端固接有插杆(107),所述移动架(106)下侧卡合有四个滑动架(108),所述滑动架(108)滑动设置于固定块(101)内,所述滑动架(108)一侧壁与固定块(101)间固接有第一弹簧(109),所述滑动架(108)底端内侧固接有夹块(104),且夹块(104)位于圆槽(103)内,所述滑动架(108)一侧壁固接有连架(1010),且连架(1010)滑动设置于固定块(101)内,所述固定块(101)内部中心处转动设置有转柱(1011),所述转柱(1011)外壁固接有连板(1012),且连板(1012)外侧套设有连架(1010),所述连架(1010)与连板(1012)间连接有连轴(1013),所述转柱(1011)内设有防晃机构(12)。
2.根据权利要求1所述的一种定位精准的晶圆传送装置,其特征在于:所述防晃机构(12)包括固接于固定块(101)内的套杆(121),所述套杆(121)内活动插接有滑动杆(122),且滑动杆(122)一端与套杆(121)间固接有第二弹簧(124),所述滑动杆(122)靠近转柱(1011)的一端固接有压块(123),所述滑动杆(122)底端卡接有挡块(125),且挡块(125)活动插接于套杆(121)内,所述挡块(125)底端与滑动杆(122)间固接有第三弹簧(126),其中一个所述夹块(104)内壁活动插接有挤压杆(1210),所述挤压杆(1210)另一端活动插接于滑动架(108)内,所述挤压杆(1210)内端与滑动架(108)间固接有第四弹簧(129),所述挤压杆(1210)位于滑动架(108)内的一端上侧啮合连接有第二齿轮(128),且第二齿轮(128)转动设置于滑动架(108)内,所述第二齿轮(128)的中心轴外壁缠绕有拉绳(127),所述拉绳(127)另一端固接于挡块(125)底端,所述转柱(1011)下侧外壁活动插接有滑块(1212),所述滑块(1212)上侧位于转柱(1011)内滑动设置有滑板(1214),且滑板(1214)上端与转柱(1011)间固接有第五弹簧(1215),所述滑板(1214)底端固接有环形板(1216),且环形板(1216)滑动设置于转柱(1011)内,所述滑块(1212)底端一侧壁与转柱(1011)间固接有第六弹簧(1217),所述环形板(1216)底端固接有插柱(1213),且插柱(1213)活动插接于转柱(1011)内。
3.根据权利要求1所述的一种定位精准的晶圆传送装置,其特征在于:所述滑动架(108)设有四个,且四个滑动架(108)关于转柱(1011)呈环形等间距分布。
4.根据权利要求1所述的一种定位精准的晶圆传送装置,其特征在于:所述连板(1012)设有四个,且四个连板(1012)关于转柱(1011)呈环形阶梯等间距分布。
5.根据权利要求2所述的一种定位精准的晶圆传送装置,其特征在于:所述压块(123)上表面开设有若干个直槽孔(1211),且若干个直槽孔(1211)呈等间距分布。
6.根据权利要求2所述的一种定位精准的晶圆传送装置,其特征在于:所述插柱(1213)设有若干个,若干个所述插柱(1213)呈环形等间距分布。
7.根据权利要求2所述的一种定位精准的晶圆传送装置,其特征在于:所述滑块(1212)设有四个,且四个滑块(1212)呈环形等间距分布,相邻所述滑块(1212)的相邻端开设有斜面。