1.一种便于夹取的晶圆传送机械臂,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的外壁上通过螺栓连接有支座(11),所述支座(11)的外壁上通过螺栓连接有电机(2),所述电机(2)的主轴上焊接有悬臂(21),所述悬臂(21)的端部外壁上焊接有电推杆(22),所述电推杆(22)的输出端焊接有安装架(23),所述安装架(23)位于悬臂(21)两侧的外壁上焊接有两对对称分布的限位柱(232),所述安装架(23)靠近限位柱(232)的一侧外壁上转动插接有调节架(24),所述调节架(24)的外壁上焊接有若干个调节柱(241),每个所述限位柱(232)的端部外壁上转动插接有拦截块(25),每个所述拦截块(25)的外壁上开设有行程槽(251),每个所述拦截块(25)与调节柱(241)一一对应,每个所述调节柱(241)滑动插接在行程槽(251)内,所述底座(1)的底部外壁上焊接有料盒(12),所述底座(1)的外壁上设置有输送带(13),所述安装架(23)上设置有调节机构,所述料盒(12)内设置有分片机构。
2.根据权利要求1所述的一种便于夹取的晶圆传送机械臂,其特征在于:所述底座(1)的外壁上设置有限位框(121)和避位槽(123),所述料盒(12)延伸至限位框(121)内,所述限位框(121)的外壁上开设有拨槽(122),所述避位槽(123)与限位柱(232)相适配,所述避位槽(123)和输送带(13)对称分布在电机(2)的两侧,所述避位槽(123)与电机(2)的距离与悬臂(21)的长度相适配。
3.根据权利要求1所述的一种便于夹取的晶圆传送机械臂,其特征在于:所述调节机构包括调节齿轮(26),所述安装架(23)的顶部外壁上焊接有支架(231),所述支架(231)的外壁上通过转轴转动插接有调节齿轮(26),所述调节齿轮(26)两侧的转轴上焊接有一对对称分布的绞盘(261),每个所述绞盘(261)的外壁上均缠绕有软绳(262),两个所述软绳(262)的缠绕方向相反,每个所述软绳(262)的端部均粘接在调节架(24)远离绞盘(261)的一侧外壁上。
4.根据权利要求3所述的一种便于夹取的晶圆传送机械臂,其特征在于:所述支座(11)靠近料盒(12)和输送带(13)的两侧外壁上均滑动插接有调节齿条(111),每个所述调节齿条(111)的外壁与支座(11)的外壁之间均设置有弹簧一(112),每个所述调节齿条(111)均与调节齿轮(26)单向啮合,所述调节齿轮(26)与靠近输送带(13)一侧的调节齿条(111)向下啮合,所述调节齿轮(26)与靠近料盒(12)一侧的调节齿条(111)向上啮合。
5.根据权利要求1所述的一种便于夹取的晶圆传送机械臂,其特征在于:所述分片机构包括拨杆(3),所述拨杆(3)转动插接在底座(1)的外壁上,所述拨杆(3)与拨槽(122)相适配,所述拨杆(3)与悬臂(21)始终保持垂直状态,所述拨杆(3)的端部外壁上焊接有带轮二(31),所述电机(2)的主轴端部外壁上焊接有带轮一(27),所述带轮一(27)与带轮二(31)直径大小相同,所述带轮一(27)与带轮二(31)的外壁上套装有传动带(32)。
6.根据权利要求5所述的一种便于夹取的晶圆传送机械臂,其特征在于:所述拨杆(3)远离带轮二(31)的一侧外壁上焊接有半齿轮一(33),所述料盒(12)靠近限位框(121)的一端内壁上开设有安装槽(125),所述安装槽(125)内转动插接有齿圈(4),所述齿圈(4)与半齿轮一(33)相互啮合。
7.根据权利要求6所述的一种便于夹取的晶圆传送机械臂,其特征在于:所述齿圈(4)的内环壁上焊接有四个等距圆周分布的凸块一(41),所述齿圈(4)的内环壁上滑动插接有一对对称分布的滑柱(421),每个所述滑柱(421)的外壁上均焊接有转动块(42),每个所述转动块(42)的外壁与齿圈(4)的内环壁之间设置有弹簧三(422),所述弹簧三(422)套装在滑柱(421)的外壁上,每个所述转动块(42)的外壁上均开设有滑槽(423),所述安装槽(125)的内壁上滑动插接有四个等距圆周分布的夹持块(5),每个所述夹持块(5)的外壁均焊接有滑杆(51),每个所述滑杆(51)均与滑槽(423)相适配,每个所述夹持块(5)的外壁上均焊接有凸块二(52),所述凸块二(52)与凸块一(41)相适配。
8.根据权利要求6所述的一种便于夹取的晶圆传送机械臂,其特征在于:所述拨杆(3)靠近带轮二(31)的一侧外壁上焊接有半齿轮二(34),所述料盒(12)的底部外壁上焊接有凸台(124),所述凸台(124)的外壁上转动插接有丝杆(6),所述丝杆(6)的外壁上焊接有传动齿轮(61),所述传动齿轮(61)与半齿轮二(34)相互啮合,所述半齿轮二(34)的直径大于传动齿轮(61)的直径,所述丝杆(6)的外壁上通过螺纹套装有上料架(62),所述上料架(62)滑动插接在料盒(12)内。