1.一种五氟化磷气体的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)含磷化合物与氟化氢反应生成六氟磷酸溶液，并在含磷化合物与氟化氢反应前，加入有机酸酐脱水剂；(2)将所述六氟磷酸溶液加热分解成气态的氟化氢和五氟化磷。

2.根据权利要求1所述的一种五氟化磷气体的制备方法，其特征在于：所述含磷化合物选自五氧化二磷、正磷酸、偏磷酸、多聚磷酸或焦磷酸中的一种或多种。

3.根据权利要求1所述的一种五氟化磷气体的制备方法，其特征在于：所述有机酸酐脱水剂选自一种或多种有机酸酐，所述有机酸酐的化学通式为R1C(O)OC(O)R2。

4.根据权利要求1所述的一种五氟化磷气体的制备方法，其特征在于：所述氟化氢质量浓度为5％～100％；所述氟化氢投料摩尔量与所述含磷化合物中磷元素投料摩尔量的比值为6～12:1。

5.根据权利要求4所述的一种五氟化磷气体的制备方法，其特征在于：所述氟化氢质量浓度为100％。

6.根据权利要求1所述的一种五氟化磷气体的制备方法，其特征在于：所述有机酸酐脱水剂投料摩尔量与所述含磷化合物中氧元素投料摩尔量的比值为1～10:1。

7.根据权利要求1所述的一种五氟化磷气体的制备方法，其特征在于：所述含磷化合物与所述氟化氢的反应温度或所述有机酸酐脱水剂除水温度控制在‑10～30℃。