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专利号: 202311163143X
申请人: 深圳市星国华先进装备科技有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-10-14
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种晶圆加工用多向故障报警设备,包括台体(1),其特征在于,所述台体(1)的底部外壁固定连接有支撑筒(9),所述支撑筒(9)的底端固定连接有底板(10),所述台体(1)的顶部固定连接有等距离呈环形分布的存放仓(2),所述存放仓(2)内部码放有等距离分布的晶圆本体(5),所述存放仓(2)的顶部固定连接有把手(4),另一所述存放仓(2)的顶部固定连接有报警器(3),所述支撑筒(9)的底部内壁固定连接有液压杆(11),所述液压杆(11)的输出端固定连接有连接柱(26),所述连接柱(26)的一端设置有机械臂(6),所述机械臂(6)的一端设置有用于将所述晶圆本体(5)取出的取料组件,所述台体(1)的顶部设置有用于对所述晶圆本体(5)进行固定的定位组件,所述定位组件的两侧分别设置有检查灯本体(8)和接收器本体(18),所述检查灯本体(8)与所述报警器(3)形成电性连接;

所述取料组件包括固定连接在所述机械臂(6)一端底部的连接盘(19),所述连接盘(19)的一端设置有取料板(20),所述取料板(20)的横截面为Y型,所述机械臂(6)一端的顶部固定连接有抽风机(12),所述抽风机(12)的一侧插接有抽风管(13),所述抽风管(13)远离所述抽风机(12)的一端插接有弯管(15);

所述弯管(15)的圆周外壁开设有等距离分布的吸风孔(14),所述弯管(15)的横截面为弧形,所述弯管(15)的圆心与所述晶圆本体(5)的圆心相同;

所述定位组件包括固定连接在所述台体(1)顶部外壁的吸盘(7),所述吸盘(7)的底部开设有进气孔(39)、分气腔(40)和通槽(16),所述进气孔(39)、所述分气腔(40)和所述通槽(16)均相连通,所述吸盘(7)的顶部开设有等距离呈圆形分布的通孔(17),所述通孔(17)呈喇叭型,所述通孔(17)与所述通槽(16)相连通,所述进气孔(39)的内部设置有鼓气组件,所述吸盘(7)的圆周外壁设置有等距离呈圆形分布的夹持组件;

所述鼓气组件包括固定连接在所述台体(1)底部外壁的鼓风机(24),所述鼓风机(24)的两侧分别插接有进气管(25)和鼓风管(21),所述鼓风管(21)的圆周外壁插接有主气管(38),所述主气管(38)远离所述鼓风管(21)的一端延伸至所述进气孔(39)的内部;

所述鼓风管(21)的内部设置有电热灯丝(41),所述电热灯丝(41)与所述报警器(3)形成电性连接;

所述夹持组件包括固定连接在所述吸盘(7)圆周外壁的壳体(28),所述壳体(28)的内部设置有活塞(33),所述活塞(33)的规格与所述壳体(28)的规格相适配,所述活塞(33)的顶部固定连接有顶块(34),所述鼓风管(21)的圆周外壁分别插接有第一连接管(22)和第二连接管(23),所述第一连接管(22)远离所述鼓风管(21)的一端延伸至所述壳体(28)的内部,所述第二连接管(23)的数目为两组,两组所述第二连接管(23)与另两组所述夹持组件相连通,所述壳体(28)的内部设置有驱动组件,所述驱动组件的一侧固定连接有轴套(42);

所述驱动组件包括转动连接在所述壳体(28)两侧内壁的第一转动柱(32),所述第一转动柱(32)的圆周外壁固定连接有固定齿轮(31),所述顶块(34)的顶部设置有安装板(44),所述安装板(44)的一侧设置有等距离分布的齿板(45),等距离分布的所述齿板(45)与所述固定齿轮(31)相啮合,所述第一转动柱(32)的圆周外壁固定连接有主动齿轮(30),所述主动齿轮(30)的圆周外壁啮合有从动齿轮(29),所述从动齿轮(29)的顶部固定连接有第二转动柱(37),所述第二转动柱(37)与所述轴套(42)固定连接;

所述轴套(42)的圆周外壁固定连接有夹持板(27),所述夹持板(27)的横截面为弧形。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用多向故障报警设备,其特征在于,所述壳体(28)的一侧内壁开设有滑槽(35),所述滑槽(35)的内部滑动连接有滑块(36),所述滑块(36)的一侧固定连接有横柱(43),所述横柱(43)远离所述滑块(36)的一端与所述安装板(44)固定连接。