1.一种高效低磷缓蚀剂的制备方法,其特征在于,所述缓蚀剂为一种噻二唑二聚体功能化的聚多巴胺包覆的锌金属有机框架,具体包括以下步骤:S1:将可溶性锌盐,咪唑配体溶于甲醇/水混合均匀,搅拌2~12h,加入溶有盐酸多巴胺的去离子水中,超声处理30~90min,在混合溶液中逐滴加入浓度为0.01M的Tris盐酸缓冲溶液,溶液的pH= 8.5,在室温下搅拌10~24h,静置过夜,用乙醇/去离子水反复洗涤干燥,得到聚多巴胺包覆的锌金属有机框架材料;
S2:将聚多巴胺包覆的锌金属有机框架材料分散于Tris盐酸缓冲液‑乙醇溶液中,加入
2,5‑二巯基噻二唑二聚体,1‑胺丙基‑3‑甲基咪唑六氟磷酸盐,搅拌10~24h;最后,用去离子水和乙醇离心彻底洗涤三次纯化反应混合物,然后在20~55℃下真空干燥,得到噻二唑二聚体功能化的聚多巴胺包覆的锌金属有机框架。
2.根据权利要求1所述的一种高效低磷缓蚀剂的制备方法,其特征在于,所述步骤S1中的可溶性锌盐包括六水合硝酸锌、氯化锌、乙酸锌、硫酸锌中的一种。
3.根据权利要求1所述的一种高效低磷缓蚀剂的制备方法,其特征在于,所述步骤S1中的锌盐,咪唑配体,盐酸多巴胺的摩尔比为1:2:0.1~1。
4.根据权利要求1所述的一种高效低磷缓蚀剂的制备方法,其特征在于,步骤S1中的咪唑配体包括2‑(二苯基膦)‑1‑甲基‑1H‑咪唑,1‑羟基‑2‑(1H‑咪唑‑1‑基)乙烷‑1,1‑双膦酸,二‑1H‑咪唑‑1‑基膦酸苯酯,2‑(二环己基膦)‑1‑(2,4,6‑三甲基‑苯基)‑1H‑咪唑,3‑(二苯基膦基)‑2‑甲基咪唑并[1,2‑A]吡啶中的一种。
5.根据权利要求1所述的一种高效低磷缓蚀剂的制备方法,其特征在于,所述步骤S1中的甲醇/水的体积是溶质总质量的5~20倍。
6.根据权利要求1所述的一种高效低磷缓蚀剂的制备方法,其特征在于,所述步骤S1中的Tris盐酸缓冲溶液的加入量与混合溶液的体积比是1:10~5。
7.根据权利要求1所述的一种高效低磷缓蚀剂的制备方法,其特征在于,所述步骤S2中的聚多巴胺包覆的锌金属有机框架材料与噻二唑二聚体的质量比为1:0.5~1:5。
8.根据权利要求1所述的一种高效低磷缓蚀剂的制备方法,其特征在于,所述步骤S2中的1‑胺丙基‑3‑甲基咪唑六氟磷酸盐的加入量为聚多巴胺包覆的锌金属有机框架材料与噻二唑二聚体加入量总质量的2%~10%。