1.一种石墨坩埚内部积炭深度清理装置，包括放置有石墨坩埚（3）的承载板（1），其特征在于：还包括深度水洗单元，用于对所述石墨坩埚（3）内壁进行水洗；升降单元（2），用于带动所述深度水洗单元插入或移出所述石墨坩埚（3）内腔；

所述深度水洗单元包括旋转冲洗单元（4），在向所述石墨坩埚（3）内腔进行加液的同时利用高压喷射出的水流带动所述旋转冲洗单元（4）进行旋转上升运动，对所述石墨坩埚（3）的内侧壁和内底部由下至上进行全面高压冲洗；超声波清洗单元（5），用于对所述石墨坩埚（3）内部进行超声波清洗；循环输液单元，用于将清洗液输送至所述旋转冲洗单元（4）中，并可对清洗后的废液进行净化后循环使用，所述清洗液采用去离子水；

所述升降单元（2）安装在所述承载板（1）上，所述深度水洗单元安装在所述升降单元（2）上；

所述升降单元（2）包括呈三角形设置的两个立柱（21）和一个电动伸缩杆（24），两个所述立柱（21）和一个所述电动伸缩杆（24）均固定在所述承载板（1）上，两个所述立柱（21）上滑动设置有活动板（22），两个所述活动板（22）的上端和一个所述电动伸缩杆（24）的输出端均与盖合在所述石墨坩埚（3）上的罩体（23）的外壁固定连接，所述罩体（23）的轴心处设置有内部带有螺旋凹槽的通孔（26），且所述通孔（26）的下方设置有容物腔（27），所述容物腔（27）的下方设置有与所述石墨坩埚（3）上端接触的接触台阶，所述接触台阶上设有弹性密封环（25）；

所述旋转冲洗单元（4）包括与所述螺旋凹槽滑动连接的旋转杆（41），所述旋转杆（41）为螺旋结构并沿其轴向向上延伸，所述旋转杆（41）的上下端面上均设有滚珠，所述旋转杆（41）上下端外壁上均设有阻挡其旋转运动的阻挡块（413），所述旋转杆（41）的上端通过安装有与其内部螺旋流道相通的连接管道（415），所述连接管道（415）通过旋转接头（43）与输液软管（44）连接，所述输液软管（44）与循环输液单元的出液端连接，所述旋转杆（41）的下端呈圆周安装有多个导流管，且多个所述导流管上均设置有可对所述旋转杆（41）提供旋转动力的第一喷液组（47）和第二喷液组（48），所述第一喷液组（47）和所述第二喷液组（48）均与所述旋转杆（41）内部螺旋流道相通，所述第一喷液组（47）用于对所述石墨坩埚（3）内侧壁进行冲洗，所述第二喷液组（48）用于对所述石墨坩埚（3）内底部进行冲洗；

所述超声波清洗单元（5）包括若干个呈圆周设置的超声波振动棒，多个所述超声波振动棒均固定安装在所述旋转杆（41）所围成的圆形腔内，所述超声波振动棒不随着所述旋转冲洗单元（4）进行旋转上升运动；

还包括助力单元（6），用于辅助所述旋转冲洗单元（4）在水力的推动下做旋转上升的冲洗运动；

所述助力单元（6）包括固定安装在所述罩体（23）上的安装柱（61）和一端与所述旋转接头（43）上端转动连接的拉绳（62），所述安装柱（61）的上端相对设置有两个定滑轮（63），所述拉绳（62）套设在两所述定滑轮（63）上，所述拉绳（62）的另一端系有第一重物（64）,所述第一重物（64）的重量小于所述旋转冲洗单元（4）的重量。

2.根据权利要求1所述的一种石墨坩埚内部积炭深度清理装置，其特征在于：所述循环输液单元包括位于多个所述超声波振动棒所围成的圆腔内且上端为开口的储液桶（45），所述储液桶（45）通过两个连接杆（46）与所述罩体（23）连接，多个所述超声波振动棒均安装在所述储液桶（45）上端的安装盘上，所述储液桶（45）的内腔从上之下依次设置有漏水板（412）、输液泵（410）、过滤件（414）和循环泵（411），所述输液泵（410）的输液端与所述输液软管（44）的进液端连接，所述输液软管（44）中间段重量被所述漏水板（412）承载，所述输液泵（410）的下端贯穿所述过滤件（414）并延伸至所述储液桶（45）的内腔底部，所述循环泵（411）的上下端分别贯穿所述过滤件（414）和所述储液桶（45）内腔底部，且上端出液口朝下设置，所述储液桶（45）内位于所述过滤件（414）下方所形成的容纳腔的空间大于储液桶（45）外壁与所述石墨坩埚（3）内部之间所形成的清洗腔空间，所述储液桶（45）位于所述通孔（26）的上端外壁上设有溢流开口（49）。

3.根据权利要求2所述的一种石墨坩埚内部积炭深度清理装置，其特征在于：所述第一喷液组（47）包括若干个竖直向下倾斜排列且具有弧形流道的第一喷液头，所述第二喷液组（48）包括若干个横向排列且具有弧形流道的第二喷液头，多个所述第二喷液头均向下倾斜设置，多个所述第二喷液头从左至右依次排列设置的出液口由向外倾斜逐渐转变成向内倾斜。

4.根据权利要求3所述的一种石墨坩埚内部积炭深度清理装置，其特征在于：还包括增重单元（7），所述增重单元（7）设置在两组，分别位于所述第一重物（64）的两侧，所述第一重物（64）的侧壁上呈三角形设置有两个导向轮（72）和一个第二重物（74），两所述导向轮（72）与所述第一重物（64）转动连接，所述第一重物（64）的侧壁上还固定有固定柱（73），所述增重单元（7）包括弯曲缠绕的磁性带（71），所述磁性带（71）与所述安装柱（61）磁性贴合安装，所述磁性带（71）的下端被螺栓贯穿并固定在所述安装柱（61）上，所述磁性带（71）的上端缠绕在所述导向轮（72）和所述第二重物（74）上并与所述固定柱（73）固定连接,所述第一重物（64）的轴心安装有限位柱（76），且所述限位柱（76）的两端分别位于相对应限位板（75）上设有的限位凹槽内，所述限位板（75）固定在所述第一重物（64）的两侧。

5.根据权利要求4所述的一种石墨坩埚内部积炭深度清理装置，其特征在于：所述磁性带（71）包括弹性磁条（78），所述弹性磁条（78）的底部固定有布料（77），所述布料（77）弯曲缠绕且不具备弹性。

6.如权利要求5所述的一种石墨坩埚内部积炭深度清理装置的清理工艺，其特征在于：

包括如下步骤，

S1:检查储液桶（45）内部液位，使得其内部液位始终保持一定高度，并通过升降单元（2）使得深度水洗单元插入石墨坩埚（3）的内腔；

S2:通过输液泵（410）清洗液抽送至旋转冲洗单元（4）中，通过从第一喷液组（47）和第二喷液组（48）中喷出的清洗液产生的反作用带动旋转冲洗单元（4）做旋转上升运动，实现对储桶（45）加液的同时对石墨坩埚（3）内壁从下至上进行全面清洗，再配合超声波清洗单元对积炭进行深度清洗，且采用边清洗边过滤循环使用的方式保证石墨坩埚（3）内清洗液的清洁度；

S3:清洗完毕后，停止向输液泵（410）工作，动旋转冲洗单元（4）自动恢复原位，循环泵（411）将石墨坩埚（3）内的清洗液全部抽送至抽液桶（45）中，再通过升降单元（2）使得深度水洗单元恢复原位；

S4:最后利用烘干装置对石墨坩埚（3）进行烘干处理即可，烘干温度控制在150℃至180℃。