1.一种激光加工的光束整形系统,其特征在于包括准直模块(1)、掩模模块(2)、组合镜模块(3)、测量模块(4)和计算机;其特征在于:准直模块(1)、掩模模块(2)、组合镜模块(3)、测量模块(4)共轴设置;
准直模块(1)用于将激光进行准直,掩模模块(2)设置有多个电控快门,多个电控快门组成电控快门阵列,组合镜模块(3)由n×n个独立的正方形镜片(5)组合而成,正方形镜片(5)之间可以组合及拆卸,且初始状态下,所有正方形镜片(5)的焦点都位于准直模块(1)、掩模模块(2)、组合镜模块(3)、测量模块(4)所在的共同轴线上的同一点;正方形镜片(5)的2
数量为n个,n>2;正方形镜片(5)之间可以拆卸后重新拼装在一起,从而可以使得在进行不同的排列组合后,穿过组合镜模块(3)的光束在组合镜后方的焦平面上形成至少一个聚焦点;
准直后的激光进入掩模模块(2),从掩模模块(2)出射后射入组合镜模块(3),之后光束聚焦在组合镜模块(3)后方的焦平面上,并形成至少一个聚焦点;从而当将测量模块(4)放置于组合镜后方的焦平面上时,测量模块(4)可以测量焦平面上的聚焦点的个数;
电控快门和正方形镜片位置一一对应,掩模模块(2)上的每一个电控快门对应一个组合镜模块(3)上的正方形镜片(5),使得一个电控快门控制进入对应位置的一个正方形镜片(5)的光的开闭;且电控快门的数量和正方形镜片(5)的数量相同;
从而使得当仅开启一个电控快门时,测量模块(4)能够测量该电控快门对应的正方形镜片(5)的焦点位置。
2.根据权利要求1所述的激光加工的光束整形系统,其特征在于:
组合镜模块(3)包括边框(6)和安装在边框(6)内的弹簧(7)和压板(8),边框(6)为“口”字型,正方形镜片(5)安装在边框(6)围成的“口”字型内部;边框(6)的每一条边的截面成“凵”字型,具有一个底边、两个侧边以及一个开口,且两个侧边在开口处具有凸出的挡块(9);边框(6)内设置弹簧(7)和压板(8),弹簧(7)一端抵住边框(6)截面的底边,另一端抵住压板(8)的第一面,压板(8)的第二面的两侧被挡块(9)挡住;压板(8)的第二面用于抵住正方形镜片(5)的边缘,每一行和每一列的正方形镜片(5)与边框(6)接触处均设置压板(8),保证正方形镜片(5)安装后的牢固性。
3.根据权利要求1所述的激光加工的光束整形系统,其特征在于:
正方形镜片(5)垂直于其光轴的横截面为正方形,且相邻的两个正方形镜片(5)接触的边缘处设置有相互匹配的凸起(11)和凹陷(12),正方形镜片(5)安装时凸起(11)和凹陷(12)相互匹配,使得相邻的正方形镜片(5)组合好后位置相对固定。
4.根据权利要求1所述的激光加工的光束整形系统,其特征在于:
正方形镜片(5)的材料为JGS1石英;测量模块(4)为CCD。