利索能及
我要发布
收藏
专利号: 2023108809988
申请人: 兰州理工大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-10-22
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种非晶合金微流控芯片母模的制备方法,其特征在于,其步骤包括:

步骤(1)一次母模的制备:采用精雕机,在RM2模具钢表面加工出带有凹形通道的微通道,并根据需求加工制备凹形通道的一次母模,微通道宽度为100~500 μm,通道深度为100~500μm,圆盘处直径为0.2~2 mm,圆盘处深度为100~500 μm;

步骤(2)将非晶合金样品、一次母模叠放固定于模架中,并将组装好的模架放置于高低温力学性能试验机中,升温至非晶合金过冷液相区目标温度,热压成形;定位冲头与非晶样品直接接触;而模芯尺寸大于样品,所以在上模底部沉孔用以固定模芯;上模和下模通过导柱定位连接;

步骤(3)冷却脱模:热压结束后,氮气冷却模架并取出成形后的非晶合金样品及一次母模,得到微通道阳模的非晶合金微模具,微通道宽度为100~500 μm,通道深度为100~500μm,圆盘处直径为0.2~2 mm,圆盘处深度为100~500 μm。

2. 根据权利要求1所述的非晶合金微流控芯片母模的制备方法,其特征在于定位冲头的孔的最小间隙为0的公差配合,大小为8×8 mm;定位冲头与非晶样品直接接触,为保证样品放置方便,样品尺寸切割为7.8×7.8×3 mm,与定位孔留有预设余量;模芯尺寸大于样品,在上模底部设有一尺寸11×11×1.5 mm的沉孔用以固定模芯。

3. 根据权利要求1所述非晶合金微流控芯片母模的制备方法,其特征在于制备的一次母模,与化学组成式为(Zr0.6336Cu0.1452Ni0.1012Al0.12)99.4Y0.6的非晶合金样品放置于模架中,采用高低温力学性能试验机进行热压成形,将一次母模表面雕刻出的微流道精密复制于非晶合金表面,制备出非晶合金微模具;(Zr0.6336Cu0.1452Ni0.1012Al0.12)99.4Y0.6的非晶合金在高‑1低温力学性能试验机中的热压成形条件为680 730 K/0.01 0.0001s  。

~ ~

4. 根据权利要求1所述非晶合金微流控芯片母模的制备方法,其特征在于将一次母模与化学组成式为(Zr0.6336Cu0.1452Ni0.1012Al0.12)97.4Er2.6的非晶合金样品组装于模架中,采用高低温力学性能试验机进行热压成形,制备出非晶合金微模具,热压成形条件为680 720K/~‑1

0.01 0.0001s  。

~

5. 根据权利要求1所述非晶合金微流控芯片母模的制备方法,其特征在于将一次母模与化学组成式为Zr61.88Cu18Ni10.12Al10的非晶合金样品组装于模架中,采用高低温力学性能试验机进行热压成形,制备出非晶合金微模具,热压成形条件为670 730 K/0.01 0.0001s ~ ~‑1

。

6. 根据权利要求1所述的非晶合金微流控芯片母模的制备方法,其特征在于:利用聚合物加热后的热塑性,采用非晶态合金微模具作为母模,通过热压印的方式在聚合物表面‑1压印出微通道;热压印温度范围为390K 430K,应变速率0.1 s  。

~

7. 根据权利要求1所述的非晶合金微流控芯片母模的制备方法,其特征在于:采用非晶态合金微模具作为母模并做高温晶化处理,使之具有热稳定性,同时利用玻璃加热后的热塑性,通过热压印的方式在玻璃表面压印出微通道;非晶合金晶化工艺参数为:温度‑1

773K,即晶化温度以上,保温10 min;热压印温度为740 770K,应变速率为0.001 s 。

~