1.一种平面非连续剪切增稠SiC研抛一体抛光装置，包括工作台（400）及设置于工作台（400）上的抛光盘组件（200）和抛光头组件（100），其特征在于，所述抛光盘组件（200）包括抛光盘主体（220）、抛光盘驱动机构、恒压供液机构（210）和抛光垫（221a），所述抛光盘主体（220）的中心部位内置中心分液腔（222），抛光盘主体（220）的上表面以中心分液腔（222）为中心内外设置若干圈环形的抛光液贮藏槽（224），相邻抛光液贮藏槽（224）之间通过设置的第一分液孔（225）连通，中心分液腔（222）与相邻抛光液贮藏槽（224）之间通过设置的第二分液孔（227）连通，所述抛光盘驱动机构用以驱动抛光盘主体（220）旋转，所述恒压供液机构用以为中心分液腔（222）供液，所述抛光垫（221a）盖住所有抛光液贮藏槽（224）；

所述抛光盘主体（220）中，相邻抛光液贮藏槽（224）之间环布多个第一分液孔（225），中心分液腔（222）与相邻抛光液贮藏槽（224）之间环布多个第二分液孔（227）；所有抛光液贮藏槽（224）的底部位置自内向外逐渐降低；

所述抛光盘主体（220）的底部设置废液收集桶（260），抛光盘主体（220）的上表面设置以中心分液腔（222）为中心的环形的废液收集槽（226），所述废液收集槽（226）通过设置的废液收集流道（228）连通至废液收集桶（260），所述废液收集槽（226）位于最外圈抛光液贮藏槽（224）的外层，两者之间通过溢流口（229）连通。

2.根据权利要求1所述的一种平面非连续剪切增稠SiC研抛一体抛光装置，其特征在于，所述恒压供液机构（210）为筒状结构，其设置于抛光盘主体（220）中心上端，其内腔与中心分液腔（222）连通。

3.根据权利要求2所述的一种平面非连续剪切增稠SiC研抛一体抛光装置，其特征在于，所述工作台（400）上设置支架（410），该支架（410）伸至抛光盘主体（220）上端，所述恒压供液机构（210）和抛光头组件（100）均设置于支架（410）上，并且恒压供液机构（210）下端与抛光盘主体（220）转动连接。

4.根据权利要求1所述的一种平面非连续剪切增稠SiC研抛一体抛光装置，其特征在于，所述抛光盘组件（200）还包括位于抛光盘主体（220）下端的回转支承轴承（250），所述回转支承轴承（250）包括转动配合的轴承内圈和轴承外圈，所述轴承内圈与工作台（400）固定连接，所述轴承外圈为齿轮结构，其与抛光盘主体（220）固定连接，所述抛光盘驱动机构包括主动齿轮（230）和抛光盘驱动电机（240），所述主动齿轮（230）与回转支承轴承（250）的轴承外圈啮合，所述抛光盘驱动电机（240）用以驱动主动齿轮（230）旋转。

5.根据权利要求1所述的一种平面非连续剪切增稠SiC研抛一体抛光装置，其特征在于，所述抛光头组件（100）包括抛光轴（140）、设置于抛光轴（140）下端的抛光头主体（160）、抛光头升降驱动机构（110）和抛光头旋转驱动机构（170），所述抛光头升降驱动机构（110）用以带动抛光轴（140）升降，所述抛光头旋转驱动机构（170）用以驱动抛光轴（140）旋转。

6.根据权利要求5所述的一种平面非连续剪切增稠SiC研抛一体抛光装置，其特征在于，所述工作台（400）上设置支架（410），该支架（410）伸至抛光盘主体（220）上端，所述抛光头组件（100）设置于支架（410）上；所述抛光头升降驱动机构（110）的输出端设置安装座（130），所述抛光头旋转驱动机构（170）包括抛光头驱动电机（171）和中间传动机构，所述抛光轴（140）的上端与安装座（130）转动配合，下端外壁上下滑动套设花键套（190），所述花键套（190）转动安装于支架（410）上，抛光头驱动电机（171）通过中间传动机构带动花键套（190）旋转，花键套（190）能够带动抛光轴（140）旋转。

7.根据权利要求6所述的一种平面非连续剪切增稠SiC研抛一体抛光装置，其特征在于，所述安装座（130）上设置接头（180），所述接头（180）连接气泵（300），所述抛光轴（140）内部沿其轴向设有与接头（180）连通的腔体，该腔体下端通至抛光头主体（160），由抛光头主体（160）封堵。

8.根据权利要求1所述的一种平面非连续剪切增稠SiC研抛一体抛光装置，其特征在于，所述抛光垫（221a）与抛光盘主体（220）之间夹设抛光垫支承板（221b），所述抛光垫（221a）与抛光垫支承板（221b）上均布满对应的通孔；所述抛光盘主体（220）上端边沿围设防溅挡板（500）。