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专利号: 2023107069670
申请人: 江苏晖恒芯片科技有限责任公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-08-04
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种芯片检测用芯片支撑结构,其特征在于,包括:

固定座(1),固定座(1)上设置有多组底部支撑台(17),底部支撑台(17)为固定座(1)主体向下延伸形成的支撑结构,以进行固定座(1)的悬空支撑固定;

安装置于固定座(1)中部的吸附组件,以进行芯片的吸附固定,吸附组件为真空吸附固定;

所述固定座(1)上设置有一体形成的芯片支撑结构,支撑结构支撑面高于吸附组件吸附面,支撑结构底部设置有调节组件(4),以进行支撑结构的调节控制,支撑结构为弹性支撑结构,支撑结构均匀置于固定座(1)边缘位置;

所述固定座(1)包括主体板(11),主体板(11)为金属板冲压形成,且中部设置有镂空窗口,主体板(11)的矩形结构,主体板(11)边缘对应设置有侧支撑架(13),侧支撑架(13)斜向下延伸,侧支撑架(13)两两一组,且等距置于主体板(11)上,侧支撑架(13)中部对应折弯设置有支托臂(12),支托臂(12)悬置于侧支撑架(13)之间,侧支撑架(13)上设置有调节组件(4),且和支托臂(12)对应,支托臂(12)上设置有和调节组件(4)对应的腰型孔,腰型孔对应平面斜向设置;

所述调节组件(4)包括驱动电机(41)、调节丝杆(42),以及配合调节丝杆(42)的滑动座(14),滑动座(14)对应置于支托臂(12)上的腰型孔内,且沿着腰型孔滑动设置,滑动座(14)底部设置有和调节丝杆(42)对应的螺纹孔(143),驱动电机(41)置于侧支撑架(13)上,且输出轴端设置有调节丝杆(42),调节丝杆(42)斜向延伸设置,且对应贯穿支托臂(12)的腰型孔;

所述滑动座(14)包括侧卡板(141),侧卡板(141)对应卡夹置于腰型孔内,且沿着腰型孔滑动,侧卡板(141)底部设置有传动板(142),传动板(142)斜向设置,且和调节丝杆(42)轴线对应垂直,侧卡板(141)上下均设置有和主体板(11)卡夹的翼板结构,滑动座(14)为钣金折弯形成,侧卡板(141)内侧壁对应设置有滑动条,且和主体板(11)对应卡夹;

所述支托臂(12)为主体板(11)折弯形成,支托臂(12)根部和主体板(11)共面,且两侧设置有切割槽,支托臂(12)根部延伸为延展平台后,向上折弯为台阶,支托臂(12)上侧斜向上延伸,且末端折弯有限位挡板,支托臂(12)根部和主体板(11)之间冲压设置有加强条(15),加强条(15)沿着支托臂(12)延伸方向设置,主体板(11)中部设置有多组安装孔(16);

所述吸附组件包括阀座板(2),阀座板(2)通过螺钉安装置于主体板(11)上,且和主体板(11)中部镂空区域对应,主体板(11)上的安装孔(16)用于连接阀座板(2),阀座板(2)中部设置有吸附盘(3),吸附盘(3)和阀座板(2)连通,阀座板(2)底部设置有和真空泵连接的端口,吸附盘(3)设置有两组吸附槽,所述吸附槽包括外侧环形设置的槽体、以及中部点阵吸附孔组。

2.根据权利要求1所述的一种芯片检测用芯片支撑结构,其特征在于:所述吸附盘(3)包括外壳体(311),外壳体(311)为回转结构,且上端为盘体,外壳体(311)上设置有和阀座板(2)连通的连通杆(32),外壳体(311)内设置有内盘体(312),内盘体(312)和外壳体(311)之间设置有通道,内盘体(312)为中空结构,且口部扣合设置有吸附盖板(313),内盘体(312)边缘和外壳体(311)侧壁组合形成环形槽体,内盘体(312)上设置有的下支撑条(3121)、轴向导流条(3122),下支撑条(3121)、轴向导流条(3122)在内盘体(312)、外壳体(311)之间组合为通道,内盘体(312)顶面设置防护条(315)。

3.根据权利要求2所述的一种芯片检测用芯片支撑结构,其特征在于:所述内盘体(312)内边缘设置有台阶,吸附盖板(313)边缘对应搭接置于台阶上,吸附盖板(313)和内盘体(312)之间通过紧固螺钉连接坚固,吸附盖板(313)和台阶之间设置有密封环(314),吸附盖板(313)上均匀设置有点阵吸附孔组。

4.根据权利要求3所述的一种芯片检测用芯片支撑结构,其特征在于:所述内盘体(312)边缘设置有侧缺槽(3123),侧缺槽(3123)内嵌置有橡胶垫,内盘体(312)边缘设置有密封槽,侧缺槽(3123)分段设置,且等角度分布设置。