1.一种微型电液执行器，其特征在于，包括壳体（9），所述壳体（9）上部配合插设微型泵（1），所述壳体（9）下部配合插设伺服缸（3），所述伺服缸（3）包括液压缸和力矩马达，所述液压缸插设于壳体（9）内，包括阶梯插设于所述壳体（9）内的活塞套（311）以及插设于活塞套（311）内的活塞杆（312），所述力矩马达设置于所述液压缸一侧且与所述活塞杆（312）配合连接；所述力矩马达上方设置无刷电机（2），该无刷电机（2）与插设在所述壳体（9）内的微型泵（1）配合连接，且所述壳体（9）内微型泵（1）与液压缸配合导通；所述无刷电机（2）和所述伺服缸（3）分别连接控制器，通过所述控制器调节所述无刷电机（2）转速从而调节微型泵（1）的出口流量，以及通过所述控制器调节所述力矩马达的衔铁（307）的转角从而控制伺服缸（3）的位移，以实现通过无刷电机（2）驱动微型泵（1）的工作来调节液压缸的活塞杆（312）的位移和/或通过调节输入力矩马达的信号来调节活塞杆（312）的位移。

2.根据权利要求1所述的一种微型电液执行器，其特征在于，所述微型泵（1）内设有油箱T，所述微型泵（1）的进油口与油箱T连通，油箱T的出油口与所述液压缸导通；所述壳体（9）上设置与所述微型泵（1）出油口连接的蓄能器（11）和压力传感器（10）；且所述微型泵（1）远离所述无刷电机（2）的一端设置用以调节微型泵（1）的油箱T压力的增压螺塞（8）。

3.根据权利要求2所述的一种微型电液执行器，其特征在于，所述力矩马达包括连接座（310），连接座（310）上设置衔铁（307），所述衔铁（307）通过其后设置的异形弹簧（305）与所述连接座（310）配合固定，所述衔铁（307）前后两侧嵌入两组绕有控制线圈（304）的线圈骨架（308）；所述衔铁（307）上下两侧嵌入两个极靴（300），两个极靴（300）之间设有四个磁钢（301）。

4.根据权利要求3所述的一种微型电液执行器，其特征在于，所述连接座（310）远离活塞杆（312）的一侧设有套环（303），该套环（303）内设有用于检测所述活塞杆（312）的位移量或对所述活塞杆（312）位置实现闭环控制的直线位移传感器（302），所述直线位移传感器（302）通过位移反馈，定位所述活塞杆（312）的位移，以及在泵控时候给控制器反馈信号，控制所述无刷电机（2）的停机、正转补压、反转泄压以及换向工作。

5.根据权利要求4所述的一种微型电液执行器，其特征在于，所述活塞杆（312）穿设所述活塞套（311）和所述连接座（310）后与所述衔铁（307）配合连接；所述活塞杆（312）与活塞套（311）套接的两端分别设置左同心环（313）和右同心环（309），右同心环（309）设置于靠近力矩马达的一端。

6.根据权利要求5所述的一种微型电液执行器，其特征在于，所述活塞杆（312）上自左同心环（313）至右同心环（309）之间依次设有第一凸环（14）、第二凸环（15）、高压引油孔a2、低压引油孔b2、高压槽a3、低压槽b3，所述高压引油孔a2设置于左同心环（313）与第一凸环（14）之间的活塞杆（312）上，所述低压引油孔b2设置于第二凸环（15）与活塞杆（312）的连接处，所述高压槽a3和低压槽b3设置于第二凸环（15）上；且所述高压引油孔a2与所述高压槽a3连通，所述低压引油孔b2与所述低压槽b3连通，所述高压槽a3与所述低压槽b3绕第二凸环（15）成对中心对称分布，所述高压槽a3与所述低压槽b3的工作边均为斜边或螺旋线。

7.根据权利要求6所述的一种微型电液执行器，其特征在于，所述活塞套（311）、左同心环（313）和第一凸环（14）之间的封闭容腔为高压腔A，所述高压腔A与所述微型泵（1）的出油口通过单向阀（4）连通；所述第一凸环（14）、活塞套（311）和第二凸环（15）之间的封闭容腔为低压腔B，所述低压腔B与所述微型泵（1）的进油口连接；所述活塞套（311）、第二凸环（15）和右同心环（309）之间的封闭容腔为控制腔C；且所述活塞套（311）自左同心环（313）至右同心环（309）之间依次设有高压孔a1、低压孔b1、控制槽c1，高压孔a1与高压腔A连通，低压孔b1与低压腔B连通，控制槽c1与控制腔C连通；高压孔a1与低压孔b1为径向均匀分布的孔道，控制槽c1为一对中心对称分布的斜槽；所述微型泵（1）出油口经过所述单向阀（4）、高压孔a1、高压引油a2、高压槽a3流入控制腔C，并通过低压槽b3、低压引油孔b2、低压孔b1流回低压腔B后返回所述油箱T。

8.根据权利要求1所述的一种微型电液执行器，其特征在于，所述微型泵（1）出油口为高压腔压力Ps，其通过活塞套（311）的高压孔a1、活塞杆312的高压引油孔a2与活塞杆（312）的高压槽a3连通；所述微型泵（1）进油口为低压腔压力Pt，其通过活塞套（311）的低压孔b1、活塞杆（312）的低压引油孔b2与活塞杆（312）的低压槽b3连通；所述活塞套（311）的控制槽c1与控制腔C连通，所述活塞杆（312）的一对高压槽a3、低压槽b3和所述活塞套（311）的对应的控制槽c1配合，形成液压阻尼半桥。

9.根据权利要求8所述的一种微型电液执行器，其特征在于，所述活塞杆（312）的运动规律由高压槽a3、低压槽b3、控制槽c1的斜边参数决定，所述活塞杆（312）的控制转角θ由力矩马达的衔铁（307）提供，控制转角θ与活塞杆（312）位移呈线性关系；且活塞杆（312）高压腔侧的高压腔A工作面积As与控制腔侧的控制腔C工作面积Ac，在任一平衡位置的关系式为：Ps*As=Pc*Ac，Ps为高压腔A的高压力，Pc为控制腔C的控制压力。

10.根据权利要求2‑9任一项所述的一种微型电液执行器，其特征在于，所述微型泵（1）出油口还设置安全阀（5），安全阀（5）为常闭阀口，当压力超过其限定值时安全阀（5）开启泄压至油箱T；所述微型泵（1）上设置补油口（13），补油口（13）经补油阀（12）与系统导通；以及所述壳体（9）上还设置与所述微型泵（1）导通的排气口（6），排气口（6）经排气阀（7）与系统导通，以在系统首次加油过程中将各腔体气体的排出。