1.一种横向激发体声波谐振器,其特征在于:包括衬底以及设置于所述衬底上的第一压电层,所述第一压电层上连接有多个金属电极,相邻的所述金属电极之间设有第二压电层,所述第一压电层上设有多个凹槽,所述第二压电层位于所述凹槽内,所述第二压电层与所述第一压电层一体设置,所述第二压电层的表面与所述第一压电层的表面齐平,所述第二压电层的介电常数小于所述第一压电层的介电常数;所述第二压电层沿所述第一压电层指向衬底方向延伸,所述第二压电层的厚度大于所述第一压电层厚度的四分之一,且小于所述第一压电层的厚度;所述第二压电层的长度为相邻金属电极间距的5%~95%;通过调节所述第二压电层的厚度和/或长度和/或材料调节整体压电层的介电常数,从而改变机电耦合系数K²的范围,以实现横向激发体声波谐振器带宽的扩展。
2.根据权利要求1所述的横向激发体声波谐振器,其特征在于:所述凹槽沿所述第一压电层指向衬底方向延伸,所述凹槽的深度大于所述第一压电层厚度的四分之一,且小于所述第一压电层的厚度。
3.根据权利要求1所述的横向激发体声波谐振器,其特征在于:所述凹槽的槽宽小于相邻两个金属电极之间的间距。
4.根据权利要求1所述的横向激发体声波谐振器,其特征在于:所述第一压电层由铌酸锂薄膜构成。
5.根据权利要求1所述的横向激发体声波谐振器,其特征在于:所述第二压电层由氮化铝薄膜或二氧化硅构成。
6.根据权利要求1所述的横向激发体声波谐振器,其特征在于:相邻两个金属电极的中心间距与所述第一压电层厚度的比值为50:1。
7.根据权利要求1所述的横向激发体声波谐振器,其特征在于:所述金属电极由钼、铝或金制成。
8.根据权利要求1所述的横向激发体声波谐振器,其特征在于:所述金属电极为叉指换能器,所述第二压电层位于任意两个相邻的叉指换能器之间。