1.一种获取微尺寸光束的激光器装置,其特征在于,包括:指示光源(1)、微尺寸输出镜(2)、第一微尺寸小孔光阑(3)、第二微尺寸小孔光阑(4)、高增益模块(5)、第三微尺寸小孔光阑(6)及微尺寸反射镜(7),其中,其中指示光源(1)、微尺寸输出镜(2)、第一微尺寸小孔光阑(3)、第二微尺寸小孔光阑(4)、高增益模块(5)、第三微尺寸小孔光阑(6)及微尺寸反射镜(7)沿光路(8)依次相邻设置;所述指示光源(1)作为光路调试系统的准直光源;所述高增益模块包括泵浦源和增益介质,其中泵浦源作为增益介质的激励源,使其实现粒子数反转;
所述第一微尺寸小孔光阑(3)、第二微尺寸小孔光阑(4)、高增益模块(5)、第三微尺寸小孔光阑(6)用于限定光路三个微尺寸小孔光阑以及高增益模块的圆柱形增益介质将光路限定在一条固定的直线上;所述微尺寸输出镜(2)和微尺寸反射镜(7)组成激光器的谐振腔。
2.根据权利要求1所述的获取微尺寸光束的激光器装置,其特征在于,所述指示光源(1)包括气体激光器、固体激光器和半导体激光器在内的各种适合指示的光源。
3.根据权利要求1所述的获取微尺寸光束的激光器装置,其特征在于,所述高增益模块(5)是指存在自发辐射放大光的激光模块,泵浦方式包括侧面泵浦和端面泵浦在内的各种泵浦方式;增益介质包括Nd:YAG晶体、Nd:YLF晶体、Nd:KGW晶体和Nd:YVO4晶体在内的各种激光晶体;工作方式可以为连续或脉冲方式。
4.根据权利要求1所述的获取微尺寸光束的激光器装置,其特征在于,所述第一微尺寸小孔光阑(3)、第二微尺寸小孔光阑(4)、第三微尺寸小孔光阑(6)的孔径大小小于4000μm,材质为高热导率的金属或陶瓷材料。
5.根据权利要求1所述的获取微尺寸光束的激光器装置,其特征在于,所述微尺寸输出镜(2)和微尺寸反射镜(7)的镜片尺寸小于4000μm,微尺寸输出镜(2)为棱镜或光栅在内具有分光作用的器件,其透过率范围不受限制。
6.一种基于权利要求1‑5任一项所述系统的光路调试方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1:利用指示光源(1)和第三微尺寸小孔光阑(6)确定微尺寸反射镜俯仰偏摆;
S2:根据微尺寸反射镜(7)和第一微尺寸小孔光阑(3)、第二微尺寸小孔光阑(4)确定高增益模块的自发辐射光光路;
S3:加入微尺寸输出镜(2),实现基于微尺寸腔镜的激光谐振腔起振。
7.根据权利要求6所述的光路调试方法,其特征在于,所述步骤S1具体包括:指示光源(1)所发出的准直光源穿过高增益模块(5)的增益介质后,打在第三微尺寸小孔光阑(6)的正中心,固定第三微尺寸小孔光阑(6);由第三微尺寸小孔光阑(6)缩束,缩束后的准直光源打在微尺寸反射镜(7)上,调节微尺寸反射镜(7)的俯仰偏摆,使其反射光重新打回小孔正中心,固定微尺寸反射镜(7)。
8.根据权利要求6所述的光路调试方法,其特征在于,所述步骤S2具体包括:遮挡指示光源,开启高增益模块,增加电流值,直至其产生自发辐射放大光,首先利用第二微尺寸小孔光阑进行粗调,使自发辐射放大光打在第二微尺寸小孔光阑的正中心,固定第二微尺寸小孔光阑;再利用第一微尺寸小孔光阑进行精调,使穿过第二微尺寸小孔光阑的光打在第一微尺寸小孔光阑的正中心,固定第一微尺寸小孔光阑,从而确定自发辐射放大光光路。
9.根据权利要求6所述的光路调试方法,其特征在于,所述步骤S3具体包括:
距离第一微尺寸小孔光阑稍远处,在光路中插入微尺寸输出镜,调节微尺寸输出镜的俯仰偏摆,使自发辐射放大光重新打入第一微尺寸小孔光阑和第二微尺寸小孔光阑,使模块自发辐射放大光路与谐振腔起振光路重合,实现微尺寸腔镜激光谐振腔起振。