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专利号: 2023100527729
申请人: 广东海洋大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-05-14
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.法珀干涉动态压力传感装置,其特征在于,包括:第三柱体(5),所述第三柱体(5)内设置有第三准直套管(6),所述第三准直套管(6)内同轴设置有传感光纤(8),所述传感光纤(8)的两侧均设置有通气组件,所述传感光纤(8)的顶端穿出所述第三柱体(5),所述第三准直套管(6)的底端开设有凹槽(61),所述传感光纤(8)的底端设置为反射镜面且伸入所述凹槽(61)内,所述凹槽(61)的底端固接有第三形变反射件,所述第三形变反射件与所述传感光纤(8)的底端正对设置,所述凹槽(61)与所述第三形变反射件形成光学微腔;

所述第三柱体(5)的一侧设置有稳定机构,所述稳定机构通过所述通气组件与所述光学微腔连通;

所述稳定机构包括第一柱体(1),所述第一柱体(1)内同轴设置有第一准直套管(2),所述第一准直套管(2)的一端固接有第一形变件,所述第一形变件与所述第一准直套管(2)形成稳定腔,所述稳定腔通过所述通气组件与所述光学微腔连通;

所述第一柱体(1)内开设有第一安装腔(11),所述第一安装腔(11)的底端贯穿所述第一柱体(1),所述第一准直套管(2)固定安装在所述第一安装腔(11)内,所述第一柱体(1)内开设有第一连通腔(12),所述第一连通腔(12)位于所述第一安装腔(11)的顶端,所述第一连通腔(12)与所述第一安装腔(11)连通,所述稳定腔通过所述第一连通腔(12)以及所述通气组件与所述光学微腔连通;

所述第三柱体(5)内开设有第三安装腔(51),所述第三安装腔(51)的底端贯穿所述第三柱体(5),所述第三准直套管(6)固接在所述第三安装腔(51)内,所述第三柱体(5)内开设有第三连通腔(52),所述第三连通腔(52)位于所述第三安装腔(51)顶端且与所述第三安装腔(51)连通,所述光学微腔通过所述第三连通腔(52)以及所述通气组件与所述稳定腔连通;

所述第三准直套管(6)内同轴开设有通孔,所述传感光纤(8)穿设在所述通孔内,所述传感光纤(8)放在通孔的中间,所述通气组件包括设置在所述传感光纤(8)相对两侧的两光子晶体光纤(7),两所述光子晶体光纤(7)穿设在所述通孔内,两所述光子晶体光纤(7)均与所述传感光纤(8)平行设置,所述光子晶体光纤(7)的底端伸入所述光学微腔内,所述光子晶体光纤(7)的顶端穿入所述第三连通腔(52)内,两侧放置所述光子晶体光纤(7)的目的是使所述传感光纤(8)对准所述第三形变反射件的中心,然后用激光把所述光子晶体光纤(7)以及所述传感光纤(8)通过单点焊接在通孔内,激光单点焊接留下的空隙用于形成光学微腔的通气孔。

2.根据权利要求1所述的法珀干涉动态压力传感装置,其特征在于:所述第一柱体(1)与所述第三柱体(5)之间通过第二柱体(4)连接,所述第二柱体(4)内开设有中间连通腔(41),所述中间连通腔(41)贯穿所述第二柱体(4),所述中间连通腔(41)的一端与所述第一连通腔(12)连通,所述中间连通腔(41)的另一端与所述第三连通腔(52)连通。

3.根据权利要求1所述的法珀干涉动态压力传感装置,其特征在于:所述第三形变反射件包括第三膜片(9),所述第三膜片(9)固接在所述凹槽(61)的底端,所述第三膜片(9)垂直于所述第三柱体(5)的轴线,所述第三膜片(9)位于所述凹槽(61)的一侧设置为反射面,所述反射面与所述反射镜面相对设置。

4.根据权利要求3所述的法珀干涉动态压力传感装置,其特征在于:所述第一形变件包括第一膜片(3),所述第一膜片(3)固接在所述第一准直套管(2)的底端,所述第一膜片(3)与所述第一准直套管(2)的轴线垂直设置,所述第一膜片(3)与所述第三膜片(9)完全相同,所述第一膜片(3)与所述第三膜片(9)位于同一水平面上。

5.一种制作方法,用于制作权利要求1‑4任一项所述的法珀干涉动态压力传感装置,其特征在于,包括以下步骤:

S1:在第三准直套管(6)的底端凹槽处固接第三形变反射件,形成光学微腔;

S2:将传感光纤(8)穿设在第三准直套管(6)内,传感光纤(8)的反射镜面与第三形变反射件的反射面正对设置;

S3:将穿设有传感光纤(8)的第三准直套管(6)固接在第三柱体(5)内;

S4:在第三柱体(5)的一侧设置稳定机构,并使稳定机构与光学微腔连通。