1.一种柔性电路板的晶圆温度传感装置,其特征在于,所述温度传感装置由基准电流源、启动电路、电压‑电流转换电路、电流求和及电流‑电压转换电路构成;
其中所述启动电路输入端输入电压,输出的与所述基准电流源的输入端连接,所述电压‑电流转换电路的输入端与所述基准电流源的输出端连接,所述电流求和及电流‑电压转换电路的输入端与所述电压‑电流转换电路的输出端连接。
2.根据权利要求1所述一种柔性电路板的晶圆温度传感装置,其特征在于,所述启动电路包括:MOS管M4、MOS管M5、MOS管M6、MOS管M7、MOS管M8
所述MOS管M4的源极输入电压且与所述MOS管M5的源极连接,所述MOS管M4的栅极、所述MOS管M5的栅极、所述MOS管M6的源极、所述MOS管M8的源极、和所述MOS管M7的源极接地,所述MOS管M8的栅极同时与所述MOS管M4的漏极和所述MOS管M6的漏极连接,所述MOS管M6的栅极与MOS管M7的栅极、漏极和MOS管M5的漏极连接。
3.根据权利要求1所述一种柔性电路板的晶圆温度传感装置,其特征在于,所述基准电流源电路包括:MOS管M1、MOS管M2、MOS管M3、MOS管M9、MOS管M10、MOS管M11、MOS管M12、MOS管M13、MOS管M14、MOS管M15、MOS管M16、电阻R1、电阻R3a、电阻R3b、三极管Q1、三极管Q3、电阻R2a、电阻R2b、三极管Q2;
所述MOS管M1、MOS管M2、MOS管M3、MOS管M11、MOS管M16的源极输入电压,所述MOS管M1的漏极同时与所述三极管Q2的入射极、电阻R2a的一端、电阻R3a的一端和MOS管M9的栅极连接,所述MOS管M11的漏极同时与所述MOS管M9和MOS管M10的源极连接,MOS管M11、MOS管M1、MOS管M2、MOS管M3和MOS管M16的栅极连接依次连接,所述MOS管M9的漏极同时与MOS管M12的漏极、栅极和MOS管M13的栅极连接,所述MOS管M10的漏极同时与所述MOS管M13的漏极、MOS管M15的栅极连接,所述MOS管M15的栅极与漏极之间通过电阻和电容连接,所述MOS管M16的漏极和所述MOS管M15的漏极连接,所述MOS管M10的栅极同时与电阻R2b的一端、MOS管M2的漏极、电阻R1的一端和电阻R3b的一端连接,所述三极管Q1的入射极与所述电阻R1的另一端连接,所述三极管Q3的入射极同时与所述电阻R3b的另一端和电阻R3a的另一端和MOS管M3的漏极连接,所述三极管Q2的源极和基极接地,电阻R2a的另一端接地,MOS管M12的源极、MOS管M13的源极和MOS管M15的源极接地,所述三极管Q1的源极和基极和所述三极管Q3的源极和基极接地,电阻R2b的另一端接地。
4.根据权利要求1所述一种柔性电路板的晶圆温度传感装置,其特征在于,所述电压‑电流转换电路包括:MOS管M17、三极管Q4、电阻R4、电阻R5、电阻R6、MOS管M19、放大器U1和放大器U2;
所述MOS管M17的源极和MOS管M19的源极输入电压,所述MOS管M17的漏极同时与放大器U1的同相输入端和三极管Q4的入射极连接,放大器U1的反相输入端与输出端连接且与电阻R4的一端连接,所述放大器U2的同相输入端同时与电阻R4的另一端和电阻R5的一端连接,所述放大器U2的输出端与MOS管M19的栅极连接,MOS管M19的漏极同时与电阻R6的一端和电阻R5的另一端连接,电阻R6的另一端接地,三极管Q4的源极和基极接地。
5.根据权利要求1所述一种柔性电路板的晶圆温度传感装置,其特征在于,所述电流求和及电流‑电压转换电路包括:MOS管M20、MOS管M18、MOS管M21、MOS管M22、电阻R7;
所述MOS管M20的栅极与电压‑电流转换电路连接,MOS管M20的源极和MOS管M18的源极输入电压,MOS管M20的漏极同时与MOS管M21的漏极、栅极和MOS管M22的栅极连接,所述MOS管M22的漏极同时与MOS管M18的漏极和电阻R7的一端连接,所述MOS管M21的源极、MOS管M22的源极和电阻R7的另一端接地。