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专利号: 2022234315832
申请人: 南京利源芯科技发展有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-05-07
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种高分辨率扫描电镜辅助装置,包括主箱体(11),其特征在于:所述主箱体(11)上端面固定设有导向机架(12),所述导向机架(12)上端面固定设有保护盖(13),所述导向机架(12)内设有导向腔(14),所述主箱体(11)上端面固定设有限位机架(15),所述导向机架(12)内圆面转动设有啮合齿轮(17),所述啮合齿轮(17)与所述导向机架(12)内圆面相互啮合,所述啮合齿轮(17)内圆面固定设有转动轴(16),所述转动轴(16)外圆面固定设有导向轴承(18);

所述导向轴承(18)外圆面与所述限位机架(15)转动配合,所述转动轴(16)上端面固定设有转动机架(19),所述转动机架(19)上端面内转动设有螺旋轴(20),所述螺旋轴(20)外圆面固定设有能伸缩运动的气动升降杆(21),所述气动升降杆(21)另一端固定设有光照机架(22),所述光照机架(22)下端面固定设有智能照明灯(23)。

2.根据权利要求1所述的一种高分辨率扫描电镜辅助装置,其特征在于:所述主箱体(11)左端面内转动设有均匀分布的四组滑动轴(24),所述滑动轴(24)外圆面设有能左右移动的滑动滑块(25)。

3.根据权利要求2所述的一种高分辨率扫描电镜辅助装置,其特征在于:所述滑动滑块(25)下端面固定设有固定机架(26)。

4.根据权利要求3所述的一种高分辨率扫描电镜辅助装置,其特征在于:所述固定机架(26)右端面上设有能伸缩运动的固定弹簧(27),所述固定弹簧(27)另一端面固定设有柔性的夹持机架(28)。

5.根据权利要求1所述的一种高分辨率扫描电镜辅助装置,其特征在于:所述主箱体(11)上端面转动设有左右对称且均匀分布的升降轴(29),所述升降轴(29)外圆面设有能上下运动的升降滑块(30)。

6.根据权利要求5所述的一种高分辨率扫描电镜辅助装置,其特征在于:所述升降滑块(30)右端面上转动设有动力轴(31),所述动力轴(31)外圆面固定设有电磁铁(32)。

7.根据权利要求6所述的一种高分辨率扫描电镜辅助装置,其特征在于:所述电磁铁(32)右端面上设有能伸缩运动的磁力伸缩杆(33),所述磁力伸缩杆(33)另一端面固定设有永磁铁(34)。

8.根据权利要求7所述的一种高分辨率扫描电镜辅助装置,其特征在于:所述永磁铁(34)与所述电磁铁(32)磁力配合,所述永磁铁(34)右端面上固定设有泡沫机架(35)。